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杠杆式尺蠖压电直线驱动器.pdf

第 23卷 第 1期 光学 精密工程 VoL23 NO.1 2015年 1月 OpticsandPrecisionEngineering Jan.2Ol5 文章编号 1004—924X(2015)01—0184—07 杠杆式尺蠖压 电直线驱动器 马 立 ,肖金涛 ,周莎莎 ,孙立宁。 (1.上海大学机电工程与自动化学院,上海200072; 2.苏州大学机器人与微系统研究中心,江苏苏州 215021) 摘要:设计了一种基于尺蠖运动原理的压 电直线驱动器 ,用于解决光学领域中的精密定位问题 。该驱动器采用 r对称仙 杆式位移放大机构,在保证钳紧力的同时,可以获得较大的驱动位移。阐述了尺蠖式压 电驱动器的工作原理,对杠杆式 柔性放大机构的位移损失、压电陶瓷与柔性机构的耦合特性及箝位机构与 中间驱动机构的刚度进行 了分析。利刖有限 元软件 Ansys对钳位机构和驱动机构的变形 、应力 、输出位移和 固有频率等参数进行 了仿真分析。最后 ,搭建 了实验平 台,测试了驱动器的各项性能。测试结果显示 ,该驱动器的行程为±25mm,钳紧力为 17N,承载力为 l1N,最大和最小 步距分别为 55ffm和 60nIn。当驱动电压为 15OV时,驱动器的最高驱动速度为 1.259mm/s。得到的性能指标满足光 学领域精密定位需要 。 关 键 词 :尺蠖驱动器;柔性铰链 ;压电陶瓷;有限元分析 中图分类号 :TN384 文献标识码 :A doi:10.3788/OPE.20l52301.0184 Linearlever—typepiezoelectricinchworm actuator MA Li ,XIAOJin—tao ,ZH ()U Sha—sha ,SUN Li—ning。 (1.SchooloJ、MechatronicEngineeringandAutomation. ShanghaiUniversity,Shanghai200072,China; 2.Roboticsand M icrosystem Center,Soochow University,Suzhou215021,C^ina) *C0rPsD gauthor,E-mail:xjtl9890115@163.corn Abstract:A linear lever—type piezoelectric inchworm actuator is designed to implementthe high precisionpositioningofopticalfield.Theactuatoradoptsthedisplacementamplificationmechanism of symmetriclever,whichoffersenoughclampingforcewhileobtainsalargerdrivingdisplacement.The workingprincipleofpiezoelectricinchworm actuatorispresented.Andthedisplacementlossofthe flexibleamplification mechanism ,the coupling characteristics between piezoelectric ceramics and flexiblemechanism ,andthestiffnessanddrivingmechanism oftheclampingmechanism areanalyzed. Thefiniteelementmethodisusedtosimulatetheclampingmechanism andthedrivingmechanism , then the deformation, stress,output displacementand naturalfrequency are allanalyzed. An ex

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