基于深刻蚀SiO2脊型波导的紧凑型多模干涉功分器.pdfVIP

第 37卷第 11期 光 子 学 报 Vo1．37No．11 2008年 11月 ACTA PHOTONICA SINICA November2008 基于深刻蚀 SiO2脊型波导的紧凑型多模干涉功分器* 陈挺 ，戴道锌 (浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室 光及 电磁波研究中心，杭州 310058) 摘 要 ：采用深刻蚀 SiO 脊型波导，利用其弯曲半径小的优点，设计 了一种 紧凑型 1×2多模干涉 功分器．在输入 ／输 出波导与多模干涉区域之间引入 了逆向锥形波导，有效地减小了输出波导间距， 从而减小了多模干涉区域宽度及其长度 ，进一步实现 了多模干涉器件 的小型化 (仅为 150gm× 20um)．并采用三维束传播方法对多模干涉区域及输入 ／输 出波导 中的光场传输进行 了模拟仿真， 得到 了一组最优参量设计值 ，从而实现其结构优化． -t( 关键词 ：SiO 波导；锥形波导；深刻蚀；多模干涉 中图分类号 ：T