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一种集成电路可靠性的综合模拟方法 谭超元，钟征宇 信息产业部电子第五研究所 摘要；本文介绍了一种集成电路可靠性的综合模拟方法．将电路模拟分析中常用的簟特卡罗分 析方法应用子集成电路可靠性的婪拟分析．捋刊了一种可以模拟多种失效机理的集成电路综合榭n方 法．采用串联失效模型开发了能够模拟金铝键台退化．TI)I]B两种失散机理的可靠性模拟软件．该软件 只膏耍经过一次模}tttt可以得到描述两种失翦机理的失效率曲线和两种失效机理综合作用下盼失效 率曲线． 关键词；集成电路。可靠性．模拟． 1．引言 传统构统计试验方法已不适应当今的高可靠性集成电路。一方面，随着工艺水平的 不断提高(如超净技术，精细加工技术等)．集成电路中的缺陷越来越少，另一方面．对 失效物理研究的深入，完善了控制各种失效枫理的方法(如在铝膜中加入少量的硅、铜， 提高了铝膜抗电迁移的能力)，使集成电路的可靠性越来越高，已难以用传统的统计试 验方法进行评价，人们不得不开始研究评价集成电路可靠性的新方法。计算机辅助可靠 性模拟评估技术是评价集成电路可靠性的新方法之一，主