在线检测超精细表面微观形貌的激光轮廓仪.pdfVIP

耷堡检测超煎蟹表面琏壅曼塑的邈些廓仪． 周肇飞周卫东李文杰张涛 西m大掌t光盘用拄木研究所 一蔓：本文介绍～种可用于在线和在位捡嗣的商分辨奉激光轮廓仪．此仪器具有很 高的共摸抑制比和同类型仪嚣中最小的形状误差·分辨力忧于0工蚋米(Ra)·可以摆 放在垒剐石车床的刀絮上蔫量超精密加工表面鬟飘彤貌． 1、引言 随着超精密加工、强激光，光电技术和半导镩工韭的发展出现了超光滑碱有趣精细 结构的表面，因而要求有对这些表面的韵觅形赣作无接触翻t的手段．一批不爵类型的 高分辨事光电转囊仪应运面生：如羹曩的zYOD、wn∞型的光干涉式轮赢仪，英目 NPL的双囊暂■轮赢仪。但前者存在三十闯鼍：第一是不能用激光，因为无法采取有效 措簟麓免入射光由试件衰面和仪器内牟的半透半反麓等光掌界面反射回翻激光舞引发噪 声甚至闪烁．第二个是对豢动簪环境干抗t瑶，必羹在气浮防摄台上工作．难以用于在 线或在位(吼删田岫∞)检测．NPL研翻的取焦黼瑟t光轮赢仪．看蕾【巧妙地用了双 折射材辩暂■对■撮面不同的境■童光育不冈的藏距．工作时若0光聚焦子被涓面土形 成小光矗并当作干涉仪的潮量青E光捌因离焦面在靛一面上形成较大光矗．丽大光废对 表面上的徽小凸凹不平有平均作用．