湿度传感器的发展趋势.pdfVIP

专家论谈 湿度传感器的发展趋势 河北科技大学信息学院(050054)沙占友薛树琦葛家怡 摘要：介绍湿敏元件的特性，重点阐述集成湿度传感器、单片智能化湿度／温度传感器的性能 特点及产品分类，最后给出集成湿度传感器典型产品的技术指标。 关键词：集成湿度传感器 单片智能湿度／温度传感器 校准 补偿 TPll马 在工农业生产、气象、环保、国防、科研、航天等部 为O s。 04pF／℃，湿度滞后量为±15％，响应时间为5 f】，经常需要对环境湿度进行测量及控制。但在常规的 除电阻式、电容式湿敏元件之外，还有电解质离子 环境参数中，湿度是最难准确测量的一个参数。用干湿 型湿敏元件、重量型湿敏元件(利用感湿膜重量的变化 球湿度计或毛发湿度计来测量湿度的方法，早已无法满 来改变振荡频率)、光强型湿敏元件、声表而波湿敏元件 足现代科技发展的需要。这是因为测量湿度要比测量温 等。湿敏元件的线性度及抗污染性差，在检测环境湿度 度复杂的多，温度是个独立的被测量，而湿度却受其他 时，湿敏元件要长期暴露在待测环境中．很容易被污染 因素(大气压强、温度)的影响。此外，湿度的校准也是一 而影响其测晕精度及长期稳定性。 个难题。国外牛产的湿度标定设备价格l‘分昂贵。 2集成湿度传感器的性能特点殛产品分类 近年来，国内外在湿度传感器研发领域取得了长足 目前，国外生产集成湿度传感器的主要厂家及典型 进步。湿敏传感器正从简单的湿敏元件向集成化、智能 化、多参数检测的方向迅速发展，为开发新一代湿度／温 新的水半。 品可分成以下三种类型： 1湿敏元件的特性 21线性电压输出式集成湿度传感器 湿敏元件是最简单的湿度传感器。湿敏元件主要有 电阻式、电容式两大类。 特点是采用恒压供电，内置放大电路，能输出与相对湿 1．1湿敏电阻 度呈比例关系的伏特级电压信号，响应速度快，重复性 湿敏电阻的特点是在基片上覆盖一层用感湿材料 好，抗污染能力强。 制成的膜，当空气巾的水蒸气吸附在感湿膜上时，元件 22线性频率输出式集成湿度传感器 的电阻率和电阻值都发生变化，利用这一特性即可测量 典型产品为HF3223型。它采用模块式结构，属于频率 湿度。湿敏电阻的种类很多，例如金属氧化物湿敏电阻、 输出式集成湿度传感器，在55％RH时的输出频率为 硅湿敏电阻、陶瓷湿敏电阻等。湿敏电阻的优点是灵敏 度高，主要缺点是线性度和产品的互换性差。 1．2湿敏电容 抗干扰能力强、便于配数字电路或单片机、价格低等优点。 湿敏电容一般是用高分子薄膜电容制成的，常用的 2．3频率／温度输出式集成湿度传感器 高分子材料有聚苯乙烯、聚酰垭胺、酪酸醋酸纤维等。当 环境湿度发生改变时，湿敏电容的介电常数发生变化， 以外，还增加了温度信号输出端，利用负温度系数 使其电容量也发生变化，其电容变化量与相对湿度成正 (NTc)热敏电阻作为温度传感器。当环境温度变化时， 比。湿敏电容的主要优点是灵敏度高、产品互换性好、响 其电阻值也相应改变并且从NTc端引出，配上二次仪表 应速度快、湿度的滞后量小、便于制造、容易实现小型化 即可测量出温度值。 和集成化，其精度一般比湿敏电阻要低一些。国外生产 3单片智能化湿度／温度传感器 湿敏电容的主要厂家有Humirel公司、Philips公_j、 siemens公司等。以Humjrel公司生产的sHll00型