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超磁致伸缩薄膜的磁场计算 陈海燕， 杨庆新，刘素贞， 刘福贵 河北工业大电气工程与自动化学院，天津，300130 摘要：超磁致伸缩薄膜的研究与应用是近年来磁致伸缩应用领 域出现的一个新的研究热点．材料的磁特性对于器件的工作特 H 性具有重要影响，如何从理论上建立材料磁特性模型，并结合 ——--—·● 器件的工作条件计算材料的磁特性一直是研究和开发人员很 膜 关心的一个课题。这对于揭示材料的磁化机制，指导材料器件 底 的设计、仿真具有重要意义。因此，开展超嫩致伸缩薄膜的磁 特性建模与计算研究工作．建立物理机伟4清晰、可应用于工程 实际的数学模型不仅具有科学上的意义，而且具有很大的实际 应用价值。 髑1悬臂集式磋甄伸缩薄膜模翌 本文以悬臀粱式薄膜为例，采用强耦合的方式进行磁场一 机械场建模．并应用无单元Galerkin方法进行磁场部分计算． 对于各向同性材料，应力一应变关系由广义虎克定律表 得到了很好的效果。 关键词：磁致伸缩薄膜，无单元Galerkin方法．悬臂粱 ㈦=[Ⅳ。Ks)+p。) (I) 1引言 b1：应力 k}：应变 磁致伸缩薄膜具有良好的软磁性能，磁晶各向异性值低． 在室温和低磁场下能产生很大的磁致伸缩应变。与通常的体磁 【H。】：本构矩阵，包括￡和邯 致伸缩材料相比，超磁致伸缩薄膜的制造过程容易和传统的半 b。}：剩余应力 总的应力包括： 导体工艺联系起来．因而成本较低．并且由于薄膜中的二维磁弹 (1)弹性应力 性相互作用使超磁致伸缩材料又具有一些新的功能，这对于超 (2)剩余应力 磁致伸缩材料的实际应用具有重要意义 (3)体积或表面压力 目前主要应用领域包括：微流量控制中的微执行器(微管 (4)热膨胀引起的应力 道，微阀，微流量计．微泵等)．超声直线微马达，微驱动元 在2维的情况下进行建模，需要先对薄膜的弯曲进行 件以及在光电领域的应用等。磁致伸缩薄膜材料在精密机械、 些假设： 智能材料、结构以及微型自适应光学系统中的微型位移控制器 1、只有平面应力 件、微型力学结构上的智能减振系统部件以及智能性滤波器等 2、表面保持平整 领域中发挥着越来越重要的作用。可以预见，超磁致伸缩薄膜器 3、没有横向剪应变 件在未来的微纳米技术中具有广阔的应用前景川． 4、横向位移沿膜厚方向保持恒定 2模型的建立 5、材料均匀且各向同性 超磁致伸缩薄膜的应用主要有悬臂粱式和膜片式两种，本 文采用悬臂粱式结构进行物理模型的建立．结构如图1