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:;:!运动件的芯片外机械驱动方法
王 皓!姚汉民!杜春雷!焦玉中
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室!四川 成都 #
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摘要!研究*+*,微结构的片外机械式驱动问题!介绍了在 *+*,硅芯片背面贴合一块宏观尺
度 (=- 片的驱动思想即(=-产生机械运动!在硅固定件与微运动件之间产生动量耦合!从而驱动
微运动件$重点探讨脉冲驱动%振动驱动两大类基本驱动方法及其特点!介绍国外代表性研究结
果!并提出对该方法进一步研究的观点与设想$
关键词!微机电系统驱动器微细加工振动压电陶瓷
中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # $
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