功率超声换能器的研究进展.pdfVIP

2009年功率超声论文集 功率超声换能器研究进展 林书玉 (陕西师范大学应用声学研究所，陕西省超声学重点实验室，西安710062) 功率超声是超声学的一个重要分支，近几十年 体，另一方面又是传播声波的载体，因此易于声匹 的发展极为迅速。功率超声的上要研究内窖包括功 配。流体动力型超声发生器的共同特点是以流体作 率超声的产生、功率超卢的作用机理和效应、以及 为动力源，利用高速流体来产生超声，其转换效率 功率超声的各种麻用研究等。其中功率超声的产生 一般比较低，大概在10％左右。其上要应用包括气 技术是功率超声的核心研究内容，闪为所有功率超 体中的超声除尘、空气中尘埃的凝聚、气体和重油 声的应用研究都必须基f一定频率和一定功率的 的阻燃、加速热交换、超声干燥、超声液体处理、 超声波能晕作为基础。同时，为了定：景地研究功率 超声化学、超声除泡沫以及液体中的油水乳化、加 超声在不同的应用技术中的影响和作用机理，必须 速晶体化过程等。 对其频率、功率以及声波强度等参数加以严格的测 基j，：压电效应原理工作的换能器统称为压电 试，这就涉及到功率超声的具体测试问题。也就是 换能器。在功率超卢领域，应用最广的是央心式压 说，功率超声的产生和测试是关系到功率超声技术 电换能器，又称为复合棒换能器或郎之万换能器。 的发展和广泛应用的两个关键问题。限于篇幅问 除了常用的纵向振动模式换能器外，为适应功率超 题，本文仪对第一个问题，即功率超声的产生问题 声新技术的需要，发展了扭转振动模式、弯曲振动 进行一些分析及探讨。目的在于为功率超声换能器 模式、纵一手H以及纵一弯复合振动模式功率超声换 的优化设计和性能改善提供一些有用的设计指南 能器。换能器的分析理论已经从一维发展到了三 和解决措施。 维。除了传统的等效电路法和波动方程法以外，一 在功率超声领域，声能的产生主要通过三种不 些近似的分析办法，如等效弹性法以及有限元法 同的办法，即流体动力法、压电效应法以及磁敛伸 等，在大尺寸功率超卢换能器的分析中得到了广泛 缩效应法。流体动力型超声发生器包括气流卢源和 的应用。一些大犁的数值分析软件，如ANSYS等， 液体动力发生器声源两种。气流声源是一种机械式 不仪可以分析换能器的振动模式和共振频率，而且 的声频或超声频振动发声器，它依靠气流的动能作 可以给出换能器任意位置及任意时刻的应力和应 为振动能茕的来源，可分为低肤与高骶声源两种。 变状态以及位移分布，非常适用干换能器的优化设 低压声源也称为哨，如通常的哨子及旋涡哨等。高 计。目前，功率超声换能器的下作频率也从常用的 压声源包括哈特曼哨及其各种变异体等。低压气流 较低频率(如20kHz)，发展到了较高频率(如几百 声源的效率较高，可达30％左右，但声功率不高， 千赫兹甚至兆赫兹数营级)，如麻用f硅片清洗的 通常不超过数瓦。因此低压气流声源主要应用于控 兆赫兹换能器和用于集成电路微点焊机的小酗高 制以及测鼋设备中，如声控开关等。高压声源的效 频超卢焊接机。另外，换能器的工作频率也从单一 率较低，但此类卢源可获得较大的声功率，因而至 工作频率发展到了多个丁作频率。例如用于超声清 今仍存在一定的市场。利用流体动力法产生超声的 洗中的复频换能器和宽频换能器等，以及用于超声 装置上要包括用J：气体中的葛尔登哨；用1：液体中 焊接中的双工作频率超声振动系统等。单个换能器 的簧片哨，以及可|一J时用于气体和液体中的旋涡哨 的功率容茕也从几十瓦