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第五章 材料激发化学 5.1 等离子体化学 固体 物质的三种状态　 液体 气体 在产生等离子体的放电空间存在： 离子、电子、高度激发的分子和原子 　　　　　　　进行 等离子体化学——是指如何有效地运用这类化学反应的一门科学及其 研究范畴。 应用： 干法制造集成电路工艺 无机、有机材料的表面改性 薄膜的制备方法 5.1.1 等离子体 1.等离子体原理 气体分子　　　　　　分解和电离　　　　　　　　　　电离气体 ※电离气体与原来气体的区别： （1）在组成上不同 普通气体是由电中性的分子或原子组成的， 电离气体是由带电粒子和中性粒子组成的； （2）在性质上不同 ①电离气体是导电流体，而又能在与气体体积相比拟的 宏观尺度内保持电中性； ②气体分子间不存在静电磁力 电离气体中的带电粒子间存在库仑力，导致带电粒子 群的种种集体运动； ③电离气体作为一个带电粒子系，其运动行为受到磁场的 影响和支配 ∴　电离气体是有别于普通气体的一种新的物质聚集态 等离子体——就是电离气体，是由电子、离子、原子、分子或自由基 等粒子组成的集合体。 特点：　　电离气体中的正电荷总数和负电荷总数相等， 故称为等离子体。 2.等离子体的温度 当系统呈热平衡状态时： 气体粒子的运动速率服从麦克斯韦尔分布 在等离子体中，粒子的平均动能与温度的关系为： —粒子的质量 —温度 —速度平方的平均值 —波尔兹曼常数 对普通气体：　　　粒子具有相同的平均动能； 对等离子体：　　　电子、离子和中性分子具有不同的平均动能 上式中的温度对应于粒子的平均动能 ∴　等离子体的温度： 电子温度 离子温度 气体温度 P105图5-1：　是气体在放电过程中，等离子体温度和压力的关系 压力104Pa：　与平衡 压力104Pa：　与距离↑ 压力102Pa：　→常温 ：1～105K 等离子体分类： 高温等离子体 低温等离子体 高温等离子体：　太阳、恒星、闪电等等，占宇宙的99％ 在温度足够高时发生 人类已掌握利用电场和磁场来控制等离子体： 如：焊工用高温等离子体焊接金属 低温等离子体：　已广泛用于多种生产领域 例如：　　等离子电视 婴儿尿布表面防水涂层 电脑芯片中的蚀刻运用→网络时代实现 等等 在常温下发生的 主要应用：①氧化、变性等表面处理 ②在有机物和无机物上进行沉淀 涂层处理 等等 本节主要讨论低温等离子体化学 3.等离子体密度 构成等离子体的粒子：　　电子 离子 激发分子 多数离子：　正离子 O2、卤素可为负离子　　∵电子亲和力大 若——表示电子密度 ——表示离子密度 则在等离子体状态，有如下关系： 此式称为电中性条件 ——称为等离子体密度 上式成立的条件： ——系统特征长度，即等离子体的尺寸 称为德拜长度 德拜长度的概念： 在等离子体中，由于异性相吸，一个带电粒子 总是被一些带异号电荷的粒子包围，这样带电 粒子的静电场只能在一定距离起作用，在此距 离外因周围异号电荷的屏蔽，电场迅速消失， 这个距离称为～，又称德拜屏蔽距离：是静电作用的屏蔽半径，是统计意义下的概念 又是局部电荷分离的空间尺度 当远小于时，等离子体宏观上是电中性的， 即的电离气体才能叫做等离子体。 的计算式： 控制等离子体密度的方法： 采用增加或减少放电电流的方法 5.1.2 等离子体空间的各种现象 等离子体空间存在的现象包括： 碰撞 激发和电离 复合 附着和离脱 扩散和迁移 1.等离子体中的碰撞 等离子体中含有：　带电粒子（电子、离子） 中性粒子（原子、分子） 碰撞： 中性粒子间的碰撞：　参见分子运动论 带电粒子与中性粒子间的碰撞：　接近中性粒子间的碰撞 带电粒子间的碰撞 （1）等离子体中的能量流 P106图5-2：　　参照教材文字简单讲解 （2）弹性碰撞和非弹性碰撞 弹性碰撞： 当粒子碰撞时，无论是哪个粒子的内能都没有改变 时，称为～。 非弹性碰撞： 当粒子碰撞时，内能发生变化的称为～。 （3）碰撞截面 碰撞发生与否及发生的几率大小，用碰撞截面概念来表述。 如P107图5-3所示： 设粒子的速度为v， 气体薄层的厚度为dx，面积为S 当运动的粒子垂直入射并通过气体薄层时： 发生碰撞的几率： 与体积元Sdx中的靶粒子数成正比 与面积S成反比 设靶粒子的密度为n，且碰撞是完全随机的， 则碰撞几率P为： 上式中的比例系数表示： 在该体积元中一个入射粒子与一个 靶粒子发生碰撞的几率。 具有面积量纲， ∴称为碰撞截面 碰撞截面的大小与 相碰粒子的种类 粒子间的相对速度 对激发过程和电离过程： 还可定义 激发截面 电离截面 的概念 ↓ ↓ （4）碰撞频率和平均自由程 碰撞频率——一个以速度v运动的入射粒子在