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No．4
孔与机械加工技术DrillingandMechanicalProcessing 印制电路信息2013
紫外激光盲孔钻孑L扫描方法研究
Code：S-112
Paper
李喜琪 覃贤德 尹同芳 宋刘洋
(广东正业科技有限公司，广东东莞523808)
摘要 微盲孔钻孔技术已经成为制约HDI和Ic载板技术提高的瓶颈之一。紫外激光(UV)加工
技术具有能量高、精度高的优势，成了激光钻孔研究的新热点。文章主要研究了uV激
光盲孔钻孔中的同心圆方法、摇摆环(wobble)方法。实验结果表明，在高斯光束的情
况下，利用同心圆扫描的方法进行100胛盲孔钻孔时，底部平均深度为(65．24±1．26)妒，
孔径比为0．80士0．016；利用摇摆环方法时，底部平均深度控制在(64．40±O．91)灿，
孔径比为0．76±0．031。实验结果表明，这两种方法都可以获得满足加工要求的微小盲孔。
关键词 紫外激光；盲孔；钻孔；扫描方法
中图分类号：TN41文献标识码：A 文章编号：1009—0096(2013】04—0170—06
onthe methodf．0r
Research
scanning
via
UVlaserblinddrilling
Ll YIN SONG
Xi—qiQINXian—deTong-fangLiu-yang
HDI
Themicroblindvia methodhasbecomethebottleneckofthePCBand
Abstract drilling
ofthe via becauseofits and
lasermachinebecomesaresearch blinddrilling hiighenergy
development．UV hotspot
UV
ontheconcentricmethodandthewobble methodforthe
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accuracy．Thispaper
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