各种材料分析仪器原理与比较.docVIP

材料分析的方法及原理 一般材料的分析技術可以概分為結構分析(物性)與成份分析(化性)兩大類。其分析方法多利用一入射粒子束（Source）如電子束、離子束、光束（含可見光及X光射線）及微探針（Probe）等，與試片作用產生各種二次粒子後，偵測其作用後產生的訊號，來分析材料各項材料特性。 一般常見的材料分析技術，不外乎想要得知試片的（1）表面或材料內部的顯微結構影像，此類的代表儀器包括掃描式電子顯微鏡（SEM）、穿透式電子顯微鏡（TEM）及原子力顯微鏡（AFM）等； （2）材料成份分析，此類的代表儀器包括X光能量散佈分析儀（EDS）、表面化學分析儀（ESCA）、歐傑電子顯微鏡（AES）及二次離子質譜儀（SIMS）等； （3）材料結晶結構鑑定與分析，此類的代表儀器包括X光繞射分析儀（XRD）及穿透式電子顯微鏡（TEM）等。 常見的儀器有(1)光學顯微鏡 (Optical Microscope, OM)；(2)掃描式電子顯微鏡 (Scanning Electron Microscope, SEM)；(3)X光能譜分析儀 (X-ray Spectrometry)；(4)穿透式電子顯微鏡 (Transmission Electron Microscope, TEM)；(5)聚焦式離子束顯微鏡 (Focused Ion beam, FIB)；(6)X光繞射分析儀 (X-ray Di