等离子体表面技术及其应用.pdfVIP

2011年全国石油化工机泵年会会刊 等离子体表面技术及其应用 卫中山 汉胜工业设备(上海)有限公司 摘要：介绍了离子注入、离子束沉积、等离子体增强化学气相沉积、等离子体化学热处理、双层辉光离子渗金属、等离子喷涂 和高分子材料表面改性等等离子体表面处理技术的基本原理和工艺特点。并给出了一些应用实例。 关键词：等离子体；表面强化；表面改性 现代工业的迅猛发展和人们对环保的要求越来 2等离子体表面技术及其应用 越高，大大促进了材料表面工程技术的进步。其中， 等离子体技术的应用，有力地推动着表面工程的发 2．1 离子注入 展，并形成了等离子体表面技术这样一个活跃的分 离子注入技术早期主要用于半导体材料的表面 支，正在发挥出越来越重要的作用。本文对各种等 精细掺杂，随着强流氮离子注入机的出现，氮离子注 离子体表面处理技术的原理及特点做了介绍，并介 入金属材料迅速步人工业实用阶段。国外生产的电 绍了一些应用情况。