(硅基二氧化硅阵列波导光栅设计 精品.pdfVIP

第 卷第 期 光 学 技 术 ! # 3456!046# 年 月 $% ’()*+,-).+/0*12. 0476 $% !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 文章编号： （ ） $89:$$%#8#;#8! !#$%’( 硅基二氧化硅阵列波导光栅设计 ， $ 安俊明 ，李健 ，郜定山 ，李建光 ，王红杰 ，胡雄伟 （ 中国科学院半导体研究所 光电子研究发展中心，北京 ） 6 :! （ 内蒙古大学 物理系，内蒙古 呼和浩特 ） $6 $ 摘 要：给出了更为合理的阵列波导光栅（ ）的设计原则。在设计时兼顾了输出谱的非均匀性 和输出通道 ,= ! 数 的要求，克服了设计中可能引起通道数 丢失和不考虑输出谱非均匀性 的缺点。用该方法设计了折射率差为 # # ! 和 的硅基二氧化硅 。采用广角有限差分束传播方法（ ）对所设计的 进行了输出谱 ;9? #@:AB ,= CD8E(F ,= 的模拟，得到了插损为 、串扰为 、通道非均匀性约为 的 ，设计指标达到了商用要求。 869GE 8%:GE GE ,= 关 键 词：阵列波导；光栅；波分复用；设计；数值模拟 中图分类号： 文献标识码： )0!:#6% , )*+,’./!#$0’( +,1,23.’+,1,2.’3443*6738*9,6* 43:,’ - 5 - - - ， $ ， ， ， ， ， !#$%’(% *+#(,% -!./(%01,% *+#(,%$,% 2!-34%(6 378(4%96( ) ) ) ) )5 ) （ ， ， ， ， ） 6HID+JAKJLM4L’ K4J5JOK4APOQ *AQKPKRKJ4MSJBPO4AGROK4LQ )TJ+TPAJQJ,OUGJB 4MSOPJAOJ EJPPA :! +TPAU N V WX （ ，