再谈经典四探针测试方法中圆片边界修正系数.pdfVIP

参参数测试试 再谈经典 四探针测试方法 中 圆片边界修正系数 国营建 中机器 北 京 查 石 瑞 摘要 介 绍 经 典法 直排 四探针 浏 全 电阻率或 薄层 电阻时 , 园片边 界修 正 系数 的 计 算 公 式 、 计 葬程 序和修正 系数表 。 关健词 四探针法 薄层 电阻 边 界修 正 系数 计算程 序 , , 一 。 。 · · ‘ 问题 的提 出 卜 音 鲁 “ 半导体技 术 年第 期刊载 了周 全 德 “ 式 中 等 同志撰 写 的 直排 四探针 电阻率硅 片非 圆心 一 一 ” 卜 点直径 修正 因子 的简 易算法 一文 下称前 〔 碧会 碧 碧 〕 。 , 文 文 中论及 因找不到 的计算公式 为要 卜 一 〔 碧劲 碧 碧 〕 获取 那些相 关标准 中查不到 的诸 多实 际情况 下 一 一 一 , 一 一 卜 的 的值 提 出 了 以 标准 〕 〔 碧会 碧 碧 〕 中的表 为基础 的加权扦补 的简 易算法 。 笔 者 卜 。