基于坐标变换的压电陶瓷执行器迟滞非线性模型研究.pdfVIP

第44 卷第2 期 . 44, . 2 大 连 理 工 大 学 学 报 Vol No 2 0 0 4 年 3 月 Journa l of D a l ian Un iver sity of Techn ology M ar 2 0 0 4 ( ) 文章编号: 2004 基于坐标变换的压电陶瓷执行器迟滞非线性模型研究 1, 2 1 3 1 崔 玉 国 , 　孙 宝 元 , 　董 维 杰 , 　杨 志 欣 ( 1. 大连理工大学 机械工程学院, 辽宁 大连　116024; 2. 宁波大学 工学院, 浙江 宁波　3 152 11; 3. 大连理工大学 电子与信息工程学院, 辽宁 大连 116024 ) 摘要: 在实验测量的基础上, 基于压电陶瓷执行器位移 电压曲线各升程之间、各回程之间 的近似相似性, 采用坐标变换方法, 建立了压电陶瓷执行器位移 电压之间的迟滞非线性模 型. 该模型只用第 1 个升回程的实测值, 便可实现对以后任意升回程各点的跟踪; 其不仅适 用于驱动电压为周期信号的情形, 也适用于非周期信号的情形. 实验研究了不同的电压驱动 过程、驱动电压频率、驱动循环次数、晶片厚度对模型精度的影响. 结果表明, 当驱动次数不 是很高时, 模型相对于实测值的误差很小, 为 2. 8% ; 当驱动次数很高时, 模型相对于实测值 的误差变大. 关键词: 执行器; 压电陶瓷; 数学模型; 坐标变换 中图分类号: O 482. 4 1 文献标识码: A 0　 引　 言 制方法均有很大提高, 在0～ 12 m 内达到2. 1% 左右. 但另一方面, 由于 P reisach 模型采用二重 压电陶瓷执行器具有许多其他执行器无法比 积分表达式且所需参数较多, 应用十分不便. 文 拟 的优点, 如位移分辨率高、机电耦合效率高、响 献[7 ] 根据实验建立的参考模型、文献[ 8 ] 的变比 应快、功耗小、无噪声等. 但是, 它同时也存在着 模型、文献[ 9 ] 的变系数模型, 是表达式比较简单 明显的不足 —— 在较高电场的作用下产生严重 的3 种迟滞非线性模型, 同时模型精度也较高, 模 的迟滞非线性, 从而极大地降低了它在微纳米定 型相 对 于 实测 值 的最 大 误 差 分 别 为 5. 1% 、 位技术中的定位精度. 为提高其精度, 往往需要 2. 0% 、1. 5%. 但是参考模型是基于确定轨迹的, 对