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真空常识介绍 真空状态的定义 真空状态的获得 真空的应用 一、真空的定义 一个标准大气压 为了确保标准大气压是一个定值，1954年第十届国际计量大会决议声明，规定标准大气压值为 1标准大气压＝101325 Pa（牛顿／米2 ） 1标准大气压=760mmHg=760(Torr) =1.013x105 Pa≈105 Pa 由于温度和海拔高度的影响，地球上不同纬度、不同季节的大 气压是不一样的。 通常我们日常生活的大气状态是一个比较接近1标准大气压的环境 离地表越远的高度，空气越稀薄气压也就越低 马德堡半球实验 为了证明大气压力的存在，1654年葛利克在德国的马德堡用两个直径为60厘米空心的铜半球紧紧地压在一起，然后用抽气机抽掉球内的空气，再各用八匹骏马朝两个相反的方向拉这两个半球。 但是无论这16匹马如何努力，也未能将相互密合的两个半球分开 这就是举世闻名的马德堡半球实验，而这两个半球密合起来的空间区域就是处于一个真空状态 什么是真空状态 真空 是指压力低于一个标准大气压的任何气 态空间 真空是相对于大气而存在的一种空间状态。 即：将某容器内的空气用一些方法除去，使之变成空气相对稀薄的状态。 通常所说的真空并非是任何物质都不存在的“绝对真空”（理想意义上的真空，是完全不存在任何东西的空间） 真空状态的划分 一般使用真空度来表征真空，真空度的高低又用压 强的大小（Pa、Torr、mmHg）来做表示的 为了表明空间气体稀薄程度的不同，通常将真空状 态按照真空度划分为以下几个段： 1、粗 真 空 ：105 ～ 103 Pa 2、低 真 空 ：103～ 10-1 Pa 3、高 真 空 ：10-1～10-6 Pa 4、超高真空 ：10-6～10-10 Pa 5、极高真空 ： ＜ 10-10 Pa 二、真空的获得 自然真空：气压随海拔高度增加而减小，存 在于宇宙空间 人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体 1654年，德国物理学家葛利克发明了真空泵。从此，随着各种各样真空泵的不断发明，人类就可以依靠它们来抽走密闭空间内的气体，来获得不同真空度要求的人为真空。 真空泵成为获得人为真空的关键设备 真空泵抽气原理及工作范围 真空泵的主要参数 抽气速率：单位时间内泵的抽气能力 极限真空：泵所能获得的最低压强 工作范围：泵能正常工作的压强范围 S 抽 速 Sm 最大抽速 上表可以看出每一种真空泵都有一个工作范围，目前没有任何一种真空泵可以从大气压一直工作到接近超高真空的。 为此，必须将几种泵联合使用，如 机械泵、油扩散泵联合的有油系统和吸附泵、溅射离子泵、钛升华泵联合的无油系统 1、旋片机械泵 常见的机械泵有旋片式、定 片式和滑阀式等。旋片式的噪声 小，运行速度高，被广泛应用在 真空镀膜机上。 主要结构如右图所示 机械泵的工作原理是基于 玻意耳-马略特定律的基础上的 PV＝K （1.1）式 其中K是与温度有关的常数 机械泵的定子和转子间存在影响抽真空的有害空间,泵的抽速随着压强降低而减小。为了减少有害空间的影响通常采用双级泵，双级泵右两个转子串连而成，其中一个转子的出气口为另一个转子的进气口，这样可以将极限真空的单极泵的1Pa提高到10-2Pa 机械泵油的作用非常重要，它起着很好的密封和润滑作用。泵油基本要求是低的饱和蒸气压，一定的粘度和较高的稳定性。但是普通机械泵对于抽走水蒸气等可凝气体有很大困难。当蒸气在腔内压缩，压强达到饱和蒸气压时，水蒸气就开始凝结成水，并与泵油形成一种悬浊液。不仅影响泵油的密封和润滑，还会造成泵壁生锈。 为此在气体尚未被压缩前，通过气镇阀渗入一定量的气体来帮助打开排气阀片，减少水气的凝结。气镇阀在抽气的起始阶段使用不会影响极限真空，但是到了一定程度后继续使用就会降低泵可以达到的极限真空 2、罗茨泵 左转子由0°转到180°的抽气过程：在0°位置时（图a）左转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时（图b ），该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时