电子显微镜讲义-2010研究生(第一章).pptVIP

?透镜磁场的这种非旋转性对称使它在不同方向上的聚焦能力出现差别，物点P通过透镜后不能在像平面上聚焦成一点，而是形成一散焦斑，如图所示。 与球差的处理情况相似，若设最小散焦斑的半径为RA，透镜的放大倍数为M，其折算到物平面上，其大小为 ??????????????????? ????????????????????????? Δ?A——像散焦距差 透镜制造精度差和极靴、光阑的污染都能导致像散。 ? 可以通过引入一强度和方位都可以调节的矫正磁场来进行补偿。在电镜中，这个产生矫正磁场的装置是消像散器。 1.2.3 色差 色差是由入射电子的波长或能量的非单一性造成的。 若入射电子的能量出现一定的差别，能量大的电子在距透镜光心比较远的地方聚焦，而能量低的电子在距光心近的地方聚焦，由此产生焦距差。像平面在远焦点和近焦点间移动时存在一最小散焦斑RC。如图所示。 把散焦斑的半径折算到原物面的半径ΔrC有 ??????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????????? CC—色差系数； ?E/E-电子束能量变化率，取决于加速电压的稳定性和电子穿过样品时发生非弹性散射的程度 稳定加速电压和透镜电流可减小色差。 色差系数和球差系数均随透镜激磁电流的增大而减 1.2.4? 电磁透镜的分辨率 电磁透镜的分辨率主要由衍射效应和像差来决定。 （1） 已知衍射效应对分辨率的影响 ????????????????????????????????? （1） ∵ α很小通常10-2～10-3rad 有?????????????????? ????????????????????? 2）像差对分辨的影响 球差： ???????????? 像散： ??????????????????????????? 用消像散器 色差： ???????????????????????? 稳定电源 因此，像差决定的分辨率主要是由球差决定的。 显然，存在一个最佳孔径半角 令???? ?????????????????????? 即????? ????????????????????????? ?????????????????????????代入（1）得电磁透镜的分辨率为 ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? .3? 电磁透镜的景深和焦长 1.3.1 景深 ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 任何样品都有一定厚度。 ??? 理论上，当透镜焦距、像距一定时，只有一层样品平面与透镜的理想物平面相重合，能在像平面上获得该层平面的理想图像。偏离理想物平面的物点都存在一定程度的失焦，从而在像平面上产生一个具有一定尺寸的失焦园斑。 ??? 如果失焦园斑尺寸不超过由衍射效应和像差引起的散焦斑，那么对透镜分辨率不会产生影响。 定义景深是，当像平面固定时(像距不变),能维持物像清晰的范围内,允许物平面(样品)沿透镜主轴移动的最大距离Df。 它与电磁透镜分辨率Dr0、孔径半角a之间的关系 ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 取 Δr0=1 nm,? a=10-2～10-3rad 则? Df = 200～200nm 试样（薄膜）一般厚200～300nm，上述景深范围可保证样品整个厚度范围内各个结构细节都清晰可见。 1.3.2 焦长 当透镜的焦距、物距一定时，像平面在一定的轴向距离内移动，也会引起失焦，产生失焦园斑。若失焦园斑尺寸不超过透镜衍射和像差引起的散焦斑大小，则对透镜的分辨率没有影响。 定义：固定样品的条件下（物距不变），象平面沿透镜主轴移动时仍能保持物像清晰的距离范围，用DL表示，见图。 透镜焦长DL与分辨率Dr0 、像点所张的孔径半角b之间的关系 若分辨率Δr0， 则 ?????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ∵ ???????? ∴ ???????????????????????? 取?