TFT—LCD取向层工艺及其关键参数.pdfVIP

维普资讯 ， 愚第67~jll- 麓善 车春城等：rFr—LcD取向层工艺及其关键参数 文章编号：1006—6268(2006)09—0020-04 TFT—LCD取向层工艺 及其关键参数 车春城 ’。王 丹 。李军建 ’ (1．中国电子科技大学 。四川成都 610054； 2．北京京东方光电科技有 限公司，北京 100176l 摘 要：综述 了国内最先进的第5代 TFT—LCD 生产线的取 向膜工艺。 并探讨 了各取向膜工 艺参数对取 向膜厚度和预倾角大小的影响，从而根据产品设计需要改变工艺参数指导实际 生产 。 关键词：取向层 ；聚酰亚胺膜；涂布；摩擦 ；膜厚；预倾角 中图分类号 ：TN141．9 文献标识码 ：B TFT—LCDSOrientedLayerTechnology andItsKeyParameters CHEChun-cheng，WANGDan，LIJun-jian’ 1．UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina,SichuanChengdu610054,China； 2．BeijingBOEOptoelectronicsTechnologyCo．LTD，Beijing100176，China) Abstract：TOverview theorientedpolyimidelayertechnologyinthe5thgenerationTFT—．LCD productionlines．Thisarticleanalyzestheparametersinfluenceonfilm thicknessandpretilt angleintheoriented polyimidelayertechnology．And itwillbeareferenceto theactual production． Keywords：orientedlayer；polyim idefilm；coating；rubbing；film thickness；pretiltangle 中国的信产产业已成为国民经济的先导、支柱产业 条TFT—LCD生产线和所有LCD义务的及京东方和上 和战略陛产业，产业规模列中国各工业部门之首，居全球 广电分别投次在大陆建设2条第 5代TFT—LCD生产代 第二i中国已成为全球最主要的IT产业生产基地，多种电 为标志，中国正在逐建成为液晶强国[1]。 子产品质量居全球第—位。在全球众多的TFT—LCD厂 商不断推出更高水平生产线的同时，中国两大电子集团投 1 引言 资及建设的第 5代TFF—LCI生产线在2004年投入试生 产阶段。以京东方科技集团股分有限公司收购韩国现代3 第 5代线是国内目前最先进的TFT—LCD生产 20 现代显示AdvancedDisplay Sep 2006 收稿 日期：2006—06—23 维普资讯 车春城等：TFr--LCD取向层工艺及其关键参数 总第 67期 线，它的液晶制屏工艺包括从玻璃基板到显示器件的 性、化学稳定性及取向稳定性。其