激光三角法微位移测量技术.pdfVIP

年 第 卷 翅 激 光 三 角法微位 移 测 量技 术 四 川联合 大 学刚 控 系 成 都 迟 桂 纯 周 肇 飞 王 世 华 摘 要 介绍 了激 光 三 角法微位 移 测 技术 的原理 、 特 点及 典 型 的光 路布局 方案 。 关键 词 激 光 三 角 测 量 法 光 路布 局 诫印 以 以 , 月弱 】 卫 印 , 邵 罗 而 印 罗 一 、 前 言 于 具 有 上 述 特 点 , 激 光 三 角 法 微 位 移 检 测 技 术 在 工业 领域 具有广 阔 的应 用 前 景 。 目前微位 移 测 量 中常用 的测 量 方法 大致 有 以下 几类 二 、 测 量 原 理 法 、 机械 如 光 学机 械 法 杠 杆 测 量 法 等 激 光 三 角 法 微位 移 检 测 技 术 是利 用 光 学 三 电学 法 如 电阻法 、 电容 法 、 电感 法 等 法 原 , 的 学 号 转 为 电 号 , 角 理 将 位 移量 光 信 换 信 电法 、 、 光 如 干 涉 法 偏 光 法 扫 描 电镜 。 , 出 测 量 经 计 算机 数据处 理 后 输 测 量 结 果 其 原 等 。