PIE成像中周期性重建误差的研究.pdfVIP

物理 学 报 ActaPhys．Sin．Vo1．63，No．3(2014) 034208 PIE成像中周期性重建误差的研究术 何小亮 ) 刘诚 )十 王继成 ) 王跃科 ) 高淑梅 ) 朱健强2) 1)(江南大学理学院光电信息科学与工程系，无锡 214122) 2)(中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 201800) (2013年9月10日收到；2013年 10月31日收到修改稿) 本文分析了PIE技术中周期性误差出现的根本原因，并在此基础上提出一种能明显减小此种误差的方 法．通过将现有PIE成像技术中的定步长二维周期扫描变为步长和方 向都不确定的随机二维扫描，可 以 根本上去除样品重建像中的周期性误差，从而得到准确的相位和振幅像，对提高PIE成像的精度有较好的 现实意义． 关键词：相干衍射成像，相位恢复，成像误差 PACS：42．25．Fx，42．30．Rx，42．30．一d DOI：10．7498／aps．63．034208 样品进行二维扫描，并用CCD记录照明光在每个 1 引 言 位置所形成的散射斑．只要在扫描过程中保证相邻 的两个扫描位置处有一定比例的样品被重复照明， 相干衍射成像 (CDI)是一种无透镜成像技术， 则可以快速重建出样品的高精度相位像和振幅像． 它利用远场衍射强度通过迭代运算的方法重建被 和传统的CDI方法相 比，PIE方法具有收敛速度 测量样 品的的振幅和相位 [1-7]，由于不需要使用高 快、视场大、可靠性高等一系列突出优点．目前PIE 品质的光学元件，所 以其成像分辨率不受光学元件 方法 已经在可见光、X射线和电子束成像中获得了 质量的影响，理论上CDI可 以达到接近衍射极限的 成功，在高分辨成像领域产生较大的影响[16--18】． 空间分辨率，因此在很多领域特别是X射线和 电 2004年所提出的PIE方法要求精确知道照明 子束成像领域CDI具有重要意义 【，引．相干衍射成 光的解析表达式，但大多数实际实验研究中，照明 像技术的基本思想是利用所记录的物体透射光的 光的分布函数往往不可能绝对精确地预知 迭代 远场衍射强度，通过在记录面和物面之问的重复迭 运算中所采用的照明光分布和实际分布往往存在 代运算，将物面上的收敛计算结果作为物体的真实 一 定的误差，从而在影响重建像的精度．为了提高 分布函数，从而计算出物体的相位信息．CDI的基 照明光的准确度，Maiden等提出了extendedPry— 本思想于20世纪70年代首先 由Hoppe等Io]提出， chographicIterativeEnginefePIE)算法 1【9J，其可 后经Fienup等的工作而逐渐发展 [11-13]．传统的 在照明光和物体的分布函数都未知的情况下，仅用 CDI成像技术要求样 品是孤立的 [11]，因此成像视 物体的远场衍射斑同时重建物体和照明光的分布． 场受到较大限制，而且对于结构稍微复杂的样品， ePIE算法基本解决了标准PIE方法中难 以解决的 用CDI往往很难得到可靠的重建图像．为了克服 照明光测量问题，使大部分的实验研究得 以顺利进 传统CDI方法的缺点，Rodenburg等在提出了一种 行，但在实际的实验中往往发现用ePIE算法所得 PtycholographicIterativeEngine(PIE)的改进方 到的重建像中往往会有周期性的结构出现 从而 法 [14,15]，该方法用一个空间局域的照明光对待测 使重建像与样品的真实分布之间存在明显误差 [19]