纳米WO3薄膜的制备及其性质的研究现状.pdfVIP

维普资讯 第41卷第3期 江 苏 陶 瓷 Vo1．41．No．3 2008年 6月 JiangsuCeramics June，2008 纳米WO3薄膜的制备及其性质的研究现状 黄 荣 (中国地质大学材化学院，武汉430074) 摘 要 综述 了纳米WO 薄膜 的几种常用制备方法 ，并对其优缺点进行 了比较，对 纳米 WO 薄膜 的应用前景作 出展望。 关键词 纳米 WO 薄膜 ；制备方法；应用前景 0 前 言 对其他干扰气体的灵敏度小于2倍 。何延春 3【J等以金 属钨为靶材 。采用直流反应磁控溅射方法 ，在玻璃上 纳米薄膜 由于具有特殊的光、电、磁等性