三维信息测量技术研究.pdfVIP

第3期 李 健等：三维信息测量技术研究 223 异常重要，它的好坏直接影响到对被测物体进行描述的精确、完整 的高度h(x，_y)。求得 (，Y)，再经过处理就可以得到物体的 程度，进而影响到重构时的质量，并最终影响到是否能真实地反映 三维信息，而求解 (，y)的传统方法主要有莫尔法、移相 原始的物体及场景。近年来，随着科学技术的进步，三维测量技术取 法、傅氏变换法，还有一些新兴的研究求解方法出现。 得了广泛的发展，其贝0量的方式主要包括接触式和非接触式两大类。 2接触式测量 接触式测量的典型代表是三坐标测量机(简称CMMo三坐 标测量机是20世纪60年代发展起来的一种三维尺寸的精密测 量仪器，主要用于零部件尺寸、形状和相互位置的检测，还可以用 于划线、定中心孔、光刻集成线路等。它综合应用了机械技术 、电 子技术、计算机技术、光学技术和数控技术等先进技术。其基本原 理是将被测物体置于坐标测量机的测量空间，获得被测物体上各 测点的坐标位置，根据这些点的空间坐标值，经过数学运算，求出 图1相位测量典型装置 被测物体的几何尺寸、形状和位置，它的坐标测量精度可达到 莫尔法包括实体光栅照射法和实体光栅投影法。实体光栅照 m级。 ． 射法是一类将试件光栅和基准光栅合一测量时观察者或Tv透 三坐标测量机的数据采集方式主要为触发式、连续式和飞测 过光栅观察其阴影。实体光栅投影法是在待测表面上产生试件光 式Ill。其主要区别为采用的测头不同，触发式采集运用接触式测 栅的变形像将空间变形像栅成像在基准光栅上。 头，适用于型面比较规则或自由曲面不太多且不太复杂的物体的 移相法是时域相位测量技术的代表方法，其有多种方案 ，出 数据采集。对于复杂的曲线、曲面和齿形，则多采用连续式采集 ， 现较早的为N步法，它将投影到物体表面的正弦光栅条纹移动N 即扫描式测头(其实也是接触式测头的一种，但采集的原理有所 次，每次移动的相位值为2rr／(N+1)，从而得到N+I幅图像。除此 不同)。飞测式采集运用的测头为非接触式，可以采集大型或复杂 之外还有N段积分法、N+I步法、ca 、最小二乘法等。 物体表面、塑性或脆性表面、薄壁物体的数据。 傅氏变换法是空域相位测量技术的主要方法之一，此外还包 三坐标测量机的特点是测量精度较高，但对于复杂内部、几 括移相莫尔法、空域移相法。傅氏变换法是对投射在物体表面的 何特征尺寸少、具有大面积自由曲面的零部件，不能适应，另外无 变形栅像进行傅氏变换，在频域提取条纹图的一级谱，再经过反 法对软质材料进行测量。且价格昂贵，对测量环境要求较高，与其 变换得到相位。空域相位测量技术均只是用一幅干涉图来解调相 它非接触式测量方法相比，测量速度较慢，数据密度低，还需要对 位信息，这种技术的多种方法，其本质是相同的。 测量结果进行触头损伤及触头半径补偿，这些不足限制了三坐标 3．1．2直接三角法 测量机的应用。 直接三角法测量技术包括激光逐点扫描法、光切法和二元编 3非接触式测量 码图样投影法．。其基本原理，如图2所示。 非接触测量可分为两类，一类是光学方法，另一类是非光学 方法。光学方法测量又可以分为主动式和被动式。主动式是指利 用结构光照明，用物体对光场的时间或空间进行调制，观察光场 中携带的物体三维信息，再对光场进行解调，从而得到物体的三 维信息。被动式则是在自然光照明下，通过一定技术利用图像明 暗、纹理、光流等信息来求出物体的三维信息。 3．1光学主动式测量 3．1．1相位测量法 相位测量法的原理为将光栅图样投影到物体表面，物体表面 图2直接三角法原理示意 的深度侥息对条纹的振幅和位相进行调制，通过一定的算法将携 激光器发出的光照射到参考平面上，部分反射光通过透镜成 带物体深度信息的相位变化解调，从而得到物体的三维信息。由 像并显现在光敏面上，当被测物轮廓高度发生变化时，像点在光 Takeda提出的光栅投射装