弗里曼源弧放电高温等离子体产生N-%27%2b--%2c10-簇团的初步的研究.pdfVIP

弗里曼源弧放电高温等离子体产生N。古簇团的初步研究 郑思孝刘仲阳廖小东孙官清王培录穆竞戚 四川大学原子核科学技术研究所 辐射物理与技术国家教委开放实验笙．成都610064 摘要 本文介绍弗里曼源Nz弧放电高温等离子体中存在N1；簇团的新结果．研究并获得了 气体流量、辅磁、弧功率参量对N1；簇团的流强的影响规律。 关键词：弧放电高温等离子体 N1；簇团粒子凝团机制 弗里曼离子源能产生多种气体离子和固态源离子．尤以N。弧放电甲的高原子离子比特性而广 泛应用于中强流离子源注入机“。”。我所280kV离子注入机采用的弗里曼源．经过对复射极后的 删绝缘结构的改进，避免了删绝缘的金属化．使源的稳定工作寿命只取决于灯丝中部溅射变细直至 烧断。纯也放电面2m时7丝寿命达38小时”’‘”。本文进一步介绍弗里曼源弧放电离沮辐射热 传导温升对注入机头部运行的稳定性的影响．发现并研究了弗里曼源高沮弧放电中产生№；簇团 及其与气压、辅磁、弧功率，弧电压间的相互关系的规律。 1．弗里曼源弧放电高温辐射热温升对注入机头部系统稳定性的影响 针对我们注入机长期出束运行后．出现绝缘环耐压降低．连续五小时工作．地电位测量的高真 生突然降至75×10一Pa．停止引束．真空又回升．但一加引出电压．各监测点的真空皆同时下 降的现象。而绝缘环两端法兰虽经水冷但环侧中部、衔结三通、及分析盘入口处手摸温度都较高． 究其原因，只可能是弧放电高温辐射温升热引起的绝缘环受热内表壁损伤质变，造成绝缘下降。而引 束时真空下降．只可能是离子束轰击扫在机盒内壁引起的溅射沉积物温升、释气所致。 由我们以 前的工作”‘．可知弧放电后弧室内壁温升达lOOO℃．建期工作由于弧室高温辐射热沿束流方向传 撬使分析器盒已经达到沉积物出气的温度。为此．我们一方面改造了绝缘环的内壁结构．使绝缘 环内壁与热屏蔽环的距离由3∞增至9m．远离辐射抻源．降低温升，保持绝缘环的绝缘性能。同 时通过清洁分析盒内壁因边缘柬溅射象计产生的不锈钢碎粉皮．经连续三次长时间弧放电．利用辐 射热沿束潍育向引起的三通、分析盒的温升．去掉匀析盒内残的清洁液．使真空度基本维持了放电 时真空度。 表一四小时弧放电下T1．Tz，和T¨三处的温升变化 T=O n1 Imi T1--10 T2=50‰--90 L=130 T7=250 k=170k=210 21xlO-521xlO-521×10—6 21×lo_5 2．1×10—21 2 P3 x10-51×lo．5 =18×10一6 乇，气体流 L=28℃T1=52UT1=66℃69℃ 71℃ 72℃ 72℃ 量18ccm T2=32℃Tz=35℃ 灯丝电流 T。=27r 38r 39℃ 39℃ 40℃ 105A 弧58V／5AT。=26℃T3=28℃T3=30℃32℃ 33℃ 33℃ 34℃ 辅磁15mT Pa=4xi0-8(静态真空)．厅内温度26℃，T，绝缘讣拇I中邵．k潍后三通中部．T{分析盒入口端 四小时连续弧放电．定时测定的T1．Tz．Ts处的温升变化如袤一。 四小时后使源绝缘环外侧中部 表一表明．放电温升使工作在1000C的钼弧室的辐射热传导． 注入机长期运 温升达70卜．源三通中部温升达40C，分析盒扁三通入口端温升这34C。显I：!1． 行后的真空下降．原因在于34℃高沮促成了分析盒内沉积的溅射粉皮瞬间大面积放气所致， 因而 尽量在引出高电压下引出聚焦臣好离子柬．井适时清洁分析盒是注入机头部系统连续稳定工作的关 键因素。 2．气体流量对N+、啦、畦(N