压力--温度多功能传感器信号分析处理技术的研究.pdfVIP

STC，99 压力一温度多功能传感器信号分析处理技术研究 车伟刘晓为李新 哈尔滨工业大学职麟中心 谢陶 哈尔滨华胜新技术有限公司 ●．。 摘要 一 本文根据压力一温度多功能传感器信号输出的特点．研制出了与压力一温度多功能传 一 感器相配套的智能化压力一温度测量仪表。仪表以单片机为核心，可在全量程的温度范圈 i (0～200C)内对压力敏感元件随温度变化而产生的零漂及灵敏度瀑移进行补偿．从而可 …： 1参‘ 以在较高温的环境下实现对压力的精确测量．仪表能够实时的显示温度和压力测量结果· 并具有和PC通信的功能。 引言 随着固态传感器技术的发展，单晶硅扩散式压力传感器得到了广泛的应用．其优点在 于体积小、高灵敏度、高线性度、无滞后以及易于集成功能化．但由于其固有的P—_N节 隔离问题，不能工作在200℃班上的高温范围。．为满足航空，航天，石油化工和汽车工 业领域的高温压力测量，高温压阻式压力传感器已采用SOS技术、多晶硅SOI技术．多晶 硅压阻式压力传感器以其工艺简单，成本低的特点成为一种应用前景广阔的高温压力传感 器。然而，半导体电阻和电阻应变系数“1随温度的变化显著。在大温度范圈应用时，必须 对传感器进行温度补偿。通过研制在压力传感器芯片上集成温度敏感元件制戒的压力一温 度多功能传感器，能够利用热敏元件输出的温度信号，实现全量程温度范圈内的压力信号 的温度补偿．同时输出压力和温度信号的多功能传感嚣能够有效的减小系统的重量、体积 和成本．哈工大已研制出压力一温度多功能传感器，但这种新型的传蓐器没有通用的仪表 与其配套，为此．我们研制了一种基于单片机的智能仪表。 一智能仪表硬件电路设计 正确设计智能仪表的硬件电路，调节好硬件电路的相关匹配参数，是使测量精确化的 前提，在本设计中，硬件系统主要实现压力、温度信号的采集，数据存储，输出显示等功 能。硬件系统的组成如图l所示，其结构可分为如下三部分： 1．数据采集部分：数据采集部分主要实现对传感器输入信号采集，滤波放大和将模拟信号 转交成数字信号等功能。电路主要由传感器信号调理电路．模拟多路选择开关，采样保持 参 器，A／D转换器等部分组成，其电原理图如图2所示。传感器温度信号谭理电路包括给热 敏电阻供电的恒流源电路和将温度信号放大的电路．压力信号条理电路包括压力传感嚣在 常温下的零漂调整电路和将压力信号放大的电路． 2．信号分析处理部分：信号分析处理部分完成对信号的分析处理，实现温度信号对压力信 号的补偿功能，监测控制正常系统的运转．这部分以8031“’单片机为核心，包括只读存 储器EPROM．随机存储器6264．和可编程擦除存储器E2PR伽． 3．人机接口部分：人机接口部分包括16个键盘和6位的LED显示电路等部分．通过人机 接口部分．完成对智能传感器的控制。 二补偿算法设计 在进行压力．温度多功能传感器的结构设计时．压力敏感元件被设计在芯片的应力敏 感区，温度敏感元件被设计在应变膜片周围，该区域对膜片的应变不敏感，因而当压力作 410 用在芯片上不会对热敏电阻的阻值产生影响。 在温度一定的条件下，压力信号和压力呈赵好的线性(非线性误差小于O．4％