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Parylene在稀土永磁材料表面处理中的应用 敬安晋 (九所西磁公司，四川绵阳621000) 1 脚LENE涂层的介绍 Parylene是由美国开发应用的一种新型覆形涂层材料，通过真空气相沉积所形成的独 特的热塑性高分子化合物，是对热塑性高聚物这一独特家族中所有成员的一般性称呼。 Parylene用独特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全 覆形的聚合物薄膜涂层，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱角、裂缝里和内表面。 这种室温沉积方法可以制备薄至0．1微米、厚到几百微米的涂层，厚度均匀、致密无针孔、 透明无应力，不含助剂、不损伤工件，有优异的电绝缘性和防护性，是当代最有效的防潮、 防霉、防腐、防盐雾涂层材料。 Parylene涂敷可以在基片的曝露部分形成极均匀的厚度，包括很深的裂缝和很尖的点 以及二维平面。Parylene经常用于解决其它涂敷系统所不能满足的涂敷工作。Parylene涂 敷最初的原料是在真空系统内的粒状粉末，然后使其直接变为气态。再对这种气态的二聚 物加温裂解，将其转变为分裂的具有活性的单体，这是整个过程必须的一步。 气态的单体象云雾般充满真空的沉积室，然后凝结在曝露的表面上，在这里Parylene 涂层发生聚合。在沉积室里薄膜不断地生长直到气态的单体不再存在为止。 2烧结钕铁硼磁体表面的腐蚀机理 钕铁硼在未加保护涂层的情况下，在湿热(温度60度，湿度90％)的条件下，未加 保护涂层的钕铁硼在200小时后就有明显的氧化现象，在500个小时后，表面严重氧化， 表面开始出现粉化，磁通密度下降5‰表面镀镍的钕铁硼经过500个小时的湿热实验后， 表面只有轻微氧化。经过多年的努力，钕铁硼磁体的表面涂敷技术取得了长足的进展，其 涂敷后的抗腐蚀能力已大幅度提高，但在很多要求高的领域，其表面的腐蚀仍然是目前困 扰钕铁硼应用的严重问题，使其应用仍然受到限制。 因为稀土元素的活泼特性，在与氧接触时，富钕相是极其容易氧化，由于钕铁硼磁体 是多孔性材料，在其烧结致密过程中，残留了许多微小的空隙，故氧气易于渗透到磁体内 部，导致材料的氧化。怎样在涂敷过程中，使空隙也被良好的涂敷是提高稀土永磁抗氧化 特性唯一有效的办法。 多年的研究证实，钕铁硼的复合金相结构，富钕、富硼和钕铁硼相，对磁体的抗氧化 是不利的。因为在氧气的作用下，这些不同相之间的电动势差异而形成许多微小“电池”， 导致了加速腐蚀。钕铁硼的表面的微孔化，使电镀过程的清洗中残留一些酸、碱等对材料 62 腐蚀严重的有害物质。由于钕铁硼表面的多孔性，这些孔是特别微小，在电镀过程中很难 对表面的微孔进行有效的填充，这是目前其它任何表面处理都很难解决的问题。钕铁硼磁 体长期与空气和腐蚀气体接触的过程中，由于气体通过镀层的渗透，导致了钕铁硼的腐蚀 加速。 钕铁硼涂敷的基本要求： 1、涂层材料的气体渗透率低 2、涂层材料本身的耐腐蚀，抗氧化特性好，寿命长。 3、涂层材料能够填充微小的孔隙，穿透特性好， 4、涂层对磁体没有磁屏蔽效应， 5、涂层的厚度要尽可能的薄，减少使用时的气隙。 6、涂层的附着力好。 7、无毒、无害，对环境没有不良影响。 由于涂层材料不同，涂层质量指标也有不同。对金属镀层而言，电镀层的厚度，附着 力、电阻率等是必须考虑的技术指标。对绝缘涂层而言，膜厚、表面电阻、耐压强度、介 电常数、附着力，等技术参数。 高分子聚合物真空气相沉积涂敷工艺是目前国际上极为流行的表面防护工艺。由于该 工艺是分子气相沉积，其气相分子几乎无孑L不入，它可以适应各类表面的防护。该涂层能 在尖锐的边缘，针孔，微裂纹，盲孔都将生成致密的、十分均匀的高分子聚合物保护薄膜 层，在各部分的厚度是一样的。不会出现液态涂敷时在小孔、相邻表面、拐角处形成的“桥 接“现象。此外，由于该沉积是在室温下进行的，不会产生液态涂敷时凝固应力和加热过 程中导致的严重张力，这些力将直接影响到材料的性能。 经过Parylene涂敷处理后的烧结钕铁硼磁体，特别是小的烧结钕铁硼磁体产品，其防 潮防霉防腐蚀及防破碎效果都是很优良的。 3 Parylene在SmCo上的应用 我们知道SmCo磁体，特别是Sm2C017磁体在使用时容易破碎，破碎的微粒吸附在 磁体表面，影响装配和