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单晶硅表面溶胶-凝胶法制备磷灰石涂层的研究.pdf
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812 20 10 年第 5 期 4 1 卷
单晶硅表面溶胶凝胶法制备磷灰石涂层的研究
1 1 2 1
吴振军 , 李文生 ,袁剑民 ,任艳群
( 1. 湖南大学 化学化工学院 ,湖南 长沙 4 10082 ; 2 . 湖南大学 材料科学与工程学院 ,湖南 长沙 4 10082)
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摘 要 : 采用溶胶凝胶法在单晶硅表面制备了磷灰 备的溶胶 sol 对晶体硅的润湿性较差而难以成膜 ,我
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石 ap atit e ,A P 涂层 。借助 SEM 、ED S 、XRD 研究了 们通过引入 Al O 中间过渡层改善涂层的均匀性与附
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单晶硅表面 A P 涂层的形貌结构与成分特征 ,通过模 着力 ,成功采用磁控溅射沉积 、阳极氧化与溶胶凝胶
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拟体液 simulat ed bo dy fluid ,SB F 浸泡实验研究了硅 结合的多步技术在 Si 100 表面制备了羟基磷灰石/
基 A P 涂层的体外诱导性能 。研究结果表明 ,在 500 ℃ Al O 复合生物涂层材料[ 10 ] ;本研究则以五氧化二磷
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保温 2h 即可使 solgel 层转变为较致密的 A P 涂层 , 溶于乙醇为磷源制备对晶体硅润湿性相对较好的溶
700 与 800 ℃分别保温 2h 得到的硅基 A P 涂层晶体长 胶 ,采用溶胶凝胶法直接在单晶硅表面制备了致密和
大且出现间隙 ,涂层的结晶性随热处理温度升高而增 多孔 A P 涂层 ,采用 SEM 、ED S 和 XRD 研究了 A P 涂
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加 ,在 800 ℃处理未出现 A P 的分解 ; SB F 中浸泡 1 周 层的形貌结构与成分 ,并通过模拟体液 SB F 浸泡实
后 ,A P 涂层未出现剥离单晶硅的现象 ,且能够诱导骨 验初步考察了所制备 A P 涂层的体外诱导性能 。
状磷灰石新沉积层的形成 ,体现出较好的体外诱导性
2 实 验
能 。
关键词 : 溶胶凝胶法 ;磷灰石涂层 ;单晶硅
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