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2006 8 M ICROFABRICAT ION T ECHNOLOGY Aug1 , 2006
: 1003- 82 13( 2006) 04-0057-06
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: 简要回顾了采用分子动力学方法模拟纳米加工过程的历史, 介绍了分子动力学仿真方法的基
本 理以及典型单晶体材料纳米切削机理的分子动力学仿真研究成果, 并从模型建立模拟尺度
以及工件和刀具的影响等方面分析了纳米加工过程分子动力学模拟研究的最新进展结果表明,
建立三维大规模及多尺度的纳米加工仿真模型已经成为目前研究的主要方向; 工件和刀具对纳米
加工影响的研究也逐渐深入, 涉及工件的晶向缺陷以及刀具参数和磨损等方面的问题
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