开题报告V8【荐】.docVIP

表5 学号： 077055068 西 北 工 业 大 学 研究生学位论文选题报告表 院、 系 机电学院 学科、专业 微机电系统及纳米技术 姓 名 学位级别 工学博士 导 师 苑 伟 政 培养类别 委 培 报告日期 研 究 生 院 研究生学位论文选题报告的要求 一、硕士生的选题报告内容应包括文献综述、选题意义、研究内容、研究方案，论文工作量的估计、工作条件，预期达到的水平，存在的问题及拟采取的解决措施。 二、博士生的选题报告内容应包括文献综述、选题背景及其意义、研究内容、研究特色、工作难点、预期成果及其可能的创新点。 三、选题报告会应以学术活动的方式公开进行。 四、正式开题之前，研究生应在广泛阅读中、外文资料的基础上，深入了解拟选课题的国内外研究动态，把握所选课题的目的、意义和预期结果，明确课题工作的设想、方法和研究路径。 五、研究生在规定的时间内，写出选题报告初稿，经指导教师审阅同意后，由指导教师安排选题报告时间。选题报告未通过者，重新开题，若第二次选题报告仍通不过者，则按有关规定终止学籍。 六、选题报告不能按期完成者，应及时向研究生院培养处提出延期申请。 七、本表可以打印或用钢笔认真填写，若不够填写时，可另加附页。论文题目 面向飞行器壁面剪应力测量的微传感器及其阵列 论文类型 （请在有关项目下作√记号） 基础研究 应用研究 工程技术 跨学科研究 √ √ 研究目的与意义 　 面世界性的能源紧缺, 减少空中和水下航行器的流体阻力, 提高推进效率, 减少航空和航海的燃料费用,一项研究课题[1] 典型粘性损失 超音速战斗机 25-30% 水下航行器 70% 大型运输机 40% 轮船低速-高速 90-30% 对于飞行器来说，当摩擦阻力降低20%时，其耗油量会减少10%；对于水下航行器来说，当摩擦阻力降低20%时，其速度会提升6.8%。因此降低摩擦阻力是飞行器发展的关键技术问题之一[2]。摩擦阻力的测量与控制成为当今空气动力学领域的研究热点。摩擦阻力是由于边界层内剪应力作用于机体表面而产生的，将剪应力沿物体表面阻力方向进行积分，即得摩擦阻力。 壁面剪应力的测量是摩阻测量的前提，剪应力测量手段的提高对于飞行器、航行器的设计、测试具有重要意义：精确的测量剪应力可以评估飞行器巡航过程中的摩擦阻力，这对飞行器的结构设计、优化、增升减阻、提高飞行器的性能具有重要的作用。美国空军、海军高度重视壁面剪应力的精确测量技术，以期达到减小能量损耗、降低噪声、提高巡航速度和机动性的目的[3]。此外，壁面剪应力的测量也是主动流动控制技术的基础，当飞行器表面流体发生分离时，分离点处的剪应力值为最小，流动分离可导致飞行器“失速”，更严重的则会导致空难，通过剪应力传感器可以直观的检测到流动分离，从而为流动控制提供依据，以防止或抑制流动分离的发生。因此微剪应力传感器对于监测飞行器周围流体的运动状态，判断是否发生分离，维护飞行器的安全飞行也具有十分重要的作用。 用于测量剪应力的常规传感器（如摩阻天平、普雷斯顿管preston tube斯坦顿管Stanton tube[4] ,且不同程度的存在信号滞后等弊端，而剪应力发生变化时具有持续时间短，尺寸小的特征，因此传统的传感器不宜形成阵列化，无法实现壁面剪应力的分布式测量。随着上世纪80年代MEMS（Micro Electro Mechanical Systems, MEMS）技术的出现，多种微小型传感器与致动器不断被研发出来，为空气动力学领域带来了一场新的技术革新[5]。 采用MEMS技术制作的用于壁面剪应力测量的微传感器在尺度上比现在应用的常规小型传感器至少要小一个量级，且由于惯性质量和热容量显著减小，因此频响范围大大扩展，使过去很难做到的局部区域的高分辨率快速测量成为可能，这对流体力学问题的研究是至关重要的[6]。同时，随着传感器封装和集成技术的不断进步，将多个微型剪应力传感器进行集成形成阵列化成为可能，将微剪应力传感器阵列布满需要测量的流动区域，组成分布式传感单元阵列，即可实现该区域流动参数的分布测量。 飞行器表面剪应力的测量，是提高飞行器机动性能和维护飞行安全的基础，同时也是主动流动控制技术的前提。本论文以用于飞行器表面剪应力测量的MEMS传感器为研究对象，研究微型剪应力传感器结构设计、仿真、优化、制作、封装以及传感器阵列的集成方法与制