再平衡电容扭摆式加速度计的测量和控制.pdfVIP

s1℃’99 再平衡电容扭摆式加速度计的测量与控制 肖龚茅盘松 (南京东南J撵94t电子中心，210096) 卑 极主要讨论电容式加速度计的测量控制电路。电路采用静电再平衡方法，激励信号 作为调制信号加在激励电极上，信号从加速度计扳块输出，经过《捞亍电容澳E量(采用电荷再 分配法)及放大电路后，再经过解调电路，滤波电路，电E拔生，至唆；反馈电压发生电路。 产生的反馈电压加到敏感电极上，使得因加速度输入而倾斜的加速度板块重新平衡。同时， 反馈电压也作为输出反应了加速度的大小。 一．引言 微型加速度传感器是自压力传感器以来研究晟多，应用最广泛的微型传感器。虽然目前 微机械加速度传感器的种类较多，有压阻式．压电式，谐振器式和电容式等，但压阻式和 电容式加速度传感器是目前的主要研究方向，应用也最为广泛。人们对压阻式传感器的研 究开展较早，硅的压阻效应理论成熟，加上制作工艺简单，因此它得到广大的应用。但压 阻式传感器有很多不足之处，如：温度漂移严重，单位芯片面积灵敏度低，功耗较大等。 与压阻式传感器相比，电容式传感器温度漂移有明显的优势：由于电容由电极的面积和距 离决定(在固定电介质情况下)，因此它的温度漂移小；灵敏度相对比较高(加速度计可以 达到O．Olmg)：加工工艺也相对简单；功耗小。但敏感电容一股较小(pF数量级)，其变化 量更小(10“19F数量级)，而且一般为非线性变化：小电容使得由于分布电容和干扰的影 响很严重．传感器的抗干扰能力较差：电容的变化一般不是线性的，因此需要补偿；而且 不同传感器没有通用的测量电路。所有的这些都使得传感器的测量电路复杂起来。因此， 目前的电容式传感嚣的研究主要分为两块：一是传感器的结构和原理，主要是如何在硅上 加工出能将需要检测的非电信号转化为检测电容量的改变；另一是电容式传感器的检损4控 制电路。 电容扭摆式加速度计又称平面振动电容式加速度计，是—种性能较高的加速度谢n。研 t 究其测量电路对其他的电容传感器也有重要参考价值。 二．扭摆式加速度计的结构和工作原理 电容扭摆式加速度计的结构见图一，它利用板块的不对称形成检测质量块。电极做在玻 璃上，与重掺棚的惯性质量板块形成电容。因此在有加速度输入时，板块产生扭转．便追使 挠性轴扭转，敏感电极上的电容发生变化。 I ★ A 图一．电容扭摆式加速度计的结构 检黻制电瞎涛检测到电容的变化，并将信号反馈到激励电极上，利用极扳上的静电产 生—个平衡力．馊援块重新平衡。这就是加速度计的}l弼工作原理。j斟￥加速度}r不但有较 好的线性，测量范屡也大大提高了。 三．测量方法的设计 电容的测量一般有一下几种方法： {．电桥法：被测电容作为电桥的—部分： 2．频率法：电容作为—振荡电路的—部分．测量输出频率，对应不同电容： 3．滤波法；电容作为滤波电路的—部分，电容变化导致电压变化； 4，电荷测量法： 5．相位法。 从我们渤Ⅱ速度计的结构(图．--)来看，为了提高灵敏度， ．． n． 发挥使用两，懈感电极自呲势，采取调锘擗调的电触。戥}|：{交 ：： n．I { 好。 叫卜H 传感器电容的等效电路如图二所示，C1、C2为敏感电极，—一1}—!■ c3，c4为激励电极。浓栅掺