传感器技术第4讲电容式传感器.ppt

传感器技术第4讲 电容式传感器 第4课 电容式传感器 第4课 电容式传感器 第一节、工作原理及特性 第一节、工作原理及特性 第一节、工作原理及特性 第一节、工作原理及特性 第一节、工作原理及特性 第一节、工作原理及特性 第一节、工作原理及特性 第一节、工作原理及特性 第一节、工作原理及特性 第一节、工作原理及特性 第一节、工作原理及特性 第一节、工作原理及特性 第一节、工作原理及特性 第一节、工作原理及特性 第二节 测量电路 第二节 测量电路 第二节 测量电路 第二节 测量电路 第二节 测量电路 第二节 测量电路 第二节 测量电路 第二节 测量电路 第二节 测量电路 第二节 测量电路 第二节 测量电路 第二节 测量电路 第三节 实际中存在的问题及解决方法 第三节 实际中存在的问题及解决方法 第三节 实际中存在的问题及解决方法 第三节 实际中存在的问题及解决方法 第三节 实际中存在的问题及解决方法 第三节 实际中存在的问题及解决方法 第四节 应用举例 第四节 应用举例 第四节 应用举例 第四节 应用举例 第四节 应用举例 完 一、温度对结构尺寸的影响及解决方法 由上式可见，在设计电容传感器时，应首先根据合理的初始电容量决定间隙d0，然后根据材料的线膨胀系数适当地选择h1和h2，以尽量满足上式的温度补偿条件。1、选用温度膨胀系数小、几何尺寸稳定的材料。（陶瓷、铁镍合金）2、采用差动对称结构。3、在测量电路中加以补偿。 二、电容电场的边缘效应 理想条件下，平行板电容器的电场均匀分布于两极板相互覆盖的空间，但实际上，在极板的边缘附近，电场分布是不均匀的，从而使电容的实际计算公式变得相当复杂。这种电场的边缘效应相当于传感器并联了一个附加电容，其结果使传感器的灵敏度下降和非线性增加。 二、电容电场的边缘效应 解决方法： 1首先应增大电容器的初始电容量，即增大极板面积和减小极板间距。 2加装等位环。 如图所示，在极板A的同一平面内加一个同心环面G。A和G在电气上相互绝缘，二者之间的间隙越小越好。这就可使A、B间的电场接近理想的均匀分布了。加装等位环的电容器有三个端子A、B、G。 三、寄生电容的影响 我们知道，任何两个导体之间均可构成电容联系。电容式传感器除了极板间的电容外，极板还可能与周围物体(包括仪器中的各种元件甚至人体)之间产生电容联系，这种电容称为寄生电容。 由于传感器本身电容很小，所以寄生电容可能使传感器电容量发生明显改变；而且寄生电容极不稳定，从而导致传感器特性的不稳定，对传感器产生严重干扰。 解决方法： 1、静电屏蔽。（即将电容器极板放置在金属壳体内，并将壳体良好接地。） 2、引出线也必须用屏蔽线，且屏蔽线外 3、采用驱动电缆技术，也称双层屏蔽等电位传输技术。将电极引出线进行内外双层屏蔽 一、差动电容式压力传感器（压力传感器） 原理： 该传感器工作时，差动压力分别作用在两隔离膜片上，通过硅油传递至感压膜片，使其产生挠曲变形，而引起差动电容变化。再经引出线接姜测量电路。 为了测量小差压，感压膜片做的很薄(约0．05～0．25ram)。 绝缘体 电极板 电极板 感压膜片 引出线 油硅 隔离膜片 隔离膜片 一、差动电容式压力传感器（压力传感器） 特点： 1.别通用于管道中绝对压力很高但差压很小的场合 2.精度高、耐振动、耐冲击、可靠好。 3.但制造工艺要求很高，尤其是感压膜片的焊接是一工艺难题。 绝缘体 电极板 电极板 感压膜片 引出线 油硅 隔离膜片 隔离膜片 二、电容式测微仪 电容式测微仪原理如图3—18所示。圆柱形探头外一般加等位环以减小边缘效应。探头与被测件表面间形成的电容为: ?特点： 1、? 非接触 2、? 精度高 3、? 分辨率高（最小检测量为0.01微米） 三、电容式测厚系统 * 主讲教师:刘遥生 联系电话方法：首先介绍电容式传感器的工作原理和测量电路，然后讨论在实际应用中存在的问题及解决的方法，最后通过四个实例介绍电容式传感器的应用。 内容: 一、工作原理及特性； 二、测量电路； 三、实际中存在的问题及解决方法 ； 四、应用 第一节、工作原理及特性 一、 什么是电容式传感器？ 将被测参数变换成电容量的一种传感器。它的转换元件实际上就是一个具有可变参数的电容器。 二、原理 用两块金属平板作电极，即可构成最简单的电容器。当忽略边缘效应时，其电容量为： 式中： S——两极板间相互覆盖的面积，m2； d——两极板间的距离，m；