第4章 电容式传感器11-4.pptVIP

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第4章 电容式传感器 图4.1为这种传感器的原理图。当传感器的εr和A为常数,初始极距为δ0 ,由式(4-1)可知其初始电容量C0为 略去高次项,可得近似的线性关系 这种电容传感器有较多的结构型式,可以用来测量纸张、绝缘薄膜等的厚度,也可用来测量粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体物质的湿度。 图4.8为原理结构。图(a)中两平行极板固定不动,极距为δ0,相对介电常数为εr2的电介质以不同深度插入电容器中,从而改变两种介质的极板覆盖面积。传感器的总电容量C为两个电容C1和C2的并联结果。由式(4-1) 在设计电容式传感器时,适当选择材料及有关结构参数,可以满足温度误差补偿要求。 ⑵.温度对介质的影响 温度对介电常数的影响随介质不同而异,空气及云母的介电常数温度系数近似为零;而某些液体介质,如硅油、蓖麻油、煤油等,其介电常数的温度系数较大。例如煤油的介电常数的温度系数可达0.07%/℃;若环境温度变化±50℃,则将带来7%的温度误差,故采用此类介质时必须注意温度变化造成的误差。 电容式传感器将被测非电量变换为电容变化后,必须采用测量电路将其转换为电压、电流或频率信号。  该电路适用于各种电容式传感器。它的应用特点和要求: (1)电源、传感器电容、负载均可同时在一点接地; (2)二极管D1、D2工作于高电平下,因而非线性失真小; (3)其灵敏度与电源频率有关,因此电源频率需要稳定; (4)将D1、D2、R1、R2安装在C1、C2附近能消除电缆寄生电容影响;线路简单; (5)输出电压较高。 当接通电源后,若触发器Q端为高电平(U1),端为低电平(0),则触发器通过R1对C1充电;当F点电位UF升到与参考电压Ur相等时,比较器IC1产生一脉冲使触发器翻转,从而使Q端为低电平,端为高电平(U1)。此时,由电容C1通过二极管D1迅速放电至零,而触发器由端经R2向C2充电;当G点电位UG与参考电压Ur相等时,比较器IC2输出一脉冲使触发器翻转,从而循环上述过程。 可以看出,电路充放电的时间,即触发器输出方波脉冲的宽度受电容C1、C2调制。 当C1=C2时,各点的电压波形如图4.16(a)所示,Q 和 两端电平的脉冲宽度相等,两端间的平均电压为零。 当C1>C2时,各点的电压波形如图4.16(b)所示, Q、两端间的平均电压(经一低通滤波器)为 4.3.4.运算放大器电路    这种电路不需要载频和附加解调线路,无波形和相移失真;输出信号只需要通过低通滤波器引出;直流信号的极性取决于C1和C2;对变极距和变面积的电容传感器均可获得线性输出。这种脉宽调制线路也便于与传感器做在一起,从而使传输误差和干扰大大减小。    图4.17为其电原理图。C1为传感器电容,它跨接在高增益运算放大器的输入端和输出端之间。放大器的输入阻抗很高(Zi→∞),因此可视作理想运算放大器。其输出端输出一与C1成反比的电压U0,即    随着电容式传感器应用问题的完善解决,它的应用优点十分明显: (1)分辨力极高,能测量低达10-7的电容值0.01μm 的绝对变化量和高达(ΔC/C=100%~200%的相对变化量,因此尤适合微信息检测; (2)动极质量小,可无接触测量;自身的功耗、发热和迟滞极小,可获得高的静态精度和好的动态特性; (3)结构简单,不含有机材料或磁性材料,对环境(除高湿外)的适应性较强; (4)过载能力强。      图4.19所示为电容式传感器及由其构成的力平衡式挠性加速度计。敏感加速度的质量组件由石英动极板及力发生器线圈组成;并由石英挠性梁弹性支承,其稳定性极高。固定于壳体的两个石英定极板与动极板构成差动结构;两极面均镀金属膜形成电极。由两组对称E形磁路与线圈构成的永磁动圈式力发生器,互为推挽结构,这大大提高了磁路的利用率和抗干扰性。   工作时,质量组件敏感被测加速度,使电容传感器产生相应输出,经测量(伺服)电路转换成比例电流输入力发生器,使其产生一电磁力与质量组件的惯性力精确平衡,迫使质量组件随被加速的载体而运动;此时,流过力发生器的电流,即精确反映了被测加速度值。    在这种加速度传感器中,传感器和力发生器的工作面均采用微气隙“压膜阻尼”,使它比通常的油阻尼具有更好的动态特性。典型的石英电容式挠性加速度传感器的量程为0~150m/s2,分辨力1×10-5m/s2,非线性误差和不重复性误差均不大于0.03%F.S.。   图4.20所示为大吨位电子吊秤用电容式称重传感器。扁环形弹性元件内腔上下平面上分别固连电容传感器的定极板和动极板。称重时,弹性元件受力变形,使动极板位移,导致传感器电容量变化,从而引起由该电容组成的振荡频率变化。

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