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太阳能电池片的制作 －－前接触形成 5.2.6 前接触形成 前接触形成工艺是太阳电池最重要的工艺步骤之一。应用金属化技术决定了遮挡和串联电阻损失，决定了发射结扩散曲线和表面扩散浓度， 也决定了选择某种表面钝化技术。 前接触工艺要求： 1、前电极表面串联电阻低 2、覆盖面积小 为满足这些要求，在太阳电池规模生产中使用了两个基本的技术：激光刻槽埋栅金属化和先进的丝网印刷工艺。 一、激光刻槽埋栅金属化法 （1）方法 用激光或机械在氮化物或氧化物保护的轻掺杂前表面开深槽，并在其中镀金属电极。在腐蚀和清洗后，对槽进行重扩散，然后通过自对准镀镍、铜和薄银层得到金属化。 （2）优点 栅线金属化有很大的高宽比和细栅线宽度（一般为20－25um）；平均效率高，（一般在16－17%之间，有时可以达到18%） （3）缺点 生产时会产生大量包含镍和铜的冲洗用水的工艺流程的外部成本。 二、丝网印刷法 （1）方法 是用一层光刻胶覆盖在金属框上的不锈钢网或聚酯网，在光刻胶上用光刻法勾画出前接触图形的开口。以适当调节好的压力用橡胶刮板将高电导率的银浆通过丝网上的开口刷到衬底上。 （2）优点 技术成熟，不需要大的资金投入就可以逐步完善，生产设备牢固可靠，化学废物也比较少。 （3）缺点 阴影损失大。填充因子低且没有表面钝化的深发射结。比埋栅电池效率低25－35%。 5.2.7 背面结构 目前在大多数产业化电池的结构中，形成背电极和表面钝化是用很方便的丝印铝浆与硅合金的一步法取得的。是在577度的温度下铝与硅形成共熔合金。 本节课结束！~ * *