磁控溅射法制备铜锌锡硫薄膜及其性能的研究.pdfVIP

第 12 届中国光伏大会暨国际光伏展览会论文（CIGS、CdTe 和其它化合物薄膜太阳电池） 磁控溅射法制备铜锌锡硫薄膜及其性能研究磁控溅射法制备铜锌锡硫薄膜及其性能研究 磁控溅射法制备铜锌锡硫薄膜及其性能研究磁控溅射法制备铜锌锡硫薄膜及其性能研究 11 1 1 11 11 22 11 11 1 1 11 11 22 11 张基东张基东 ，杨海刚，杨海刚 ，宋桂林，宋桂林 ，王天兴，王天兴 ，郝瑞亭，郝瑞亭 ，常方高，常方高 张基东张基东 ，，杨海刚杨海刚 ，，宋桂林宋桂林 ，，王天兴王天兴 ，，郝瑞亭郝瑞亭 ，，常方高常方高 （1. 河南师范大学物理与信息工程学院，河南省光伏重点实验室 河南 新乡 453007； 2. 云南师范大学太阳能研究所 云南 昆明 650092） 摘要摘要：：采用固相反应法制备了铜锌锡硫四元化合物靶材，利用该靶材在玻璃衬底上通 摘要摘要：： 过射频溅射方法沉积得到了铜锌锡硫（CZTS）薄膜。利用 X 射线衍射仪（XRD）对薄膜样品 的结构进行了表征，采用紫外-可见-近红外分光光度计对薄膜样品的光学性能进行了测试分 析，研究了溅射气压与退火条件对样品的晶体结构、光吸收系数和禁带宽度等性能的影响关 系。 关键词关键词：射频磁控溅射；铜锌锡硫（CZTS）；太阳能电池；固相反应法 关键词关键词 1 引言1 引言 阶仪等对样品的性质进行了表征，并对结果 1 1 引言引言 铜锌锡硫是由地壳中丰度较高元素构 进行讨论。 成的四元化合物，是用锌元素和锡元素代替 2 实验2 实验 2 2 实验实验 了铜铟镓硒中丰度较低的铟元素和镓元素 本文磁控溅射法制备铜锌锡硫薄膜所 [1-3] 。其禁带宽度约为 1.5eV，与半导体太阳 使用的靶材为自制靶材，Cu、Zn 、Sn 和 S 能电池吸收层的最佳禁带宽度非常接近，吸 的原子比为2 ：1：1：4 。所使用的磁控溅射 4 -1 收系数可达 10 cm ，不含有毒成分，所以 设备为 JGP560 型超高真空磁控溅射系统。 是替代铜铟镓硒太阳能电池吸收层的最佳 以钙钠玻璃为基片，基片在装入真空室前， 候选材料。其对环境友好而且廉价，具有广 先后用丙酮和乙醇超声清洗，清洗后用电吹 阔的应用前景。[1-13] 风快速烘干放在基片架上送入真空室。本底 -4 目前，制备铜锌锡硫四元化合物的主要 真空为 6 ×10 Pa ，溅射时通入氩气预溅射 方法有真空蒸发法、溅射法、电沉积方法和 15 分钟除去靶材表面污染物后开始正式溅 喷雾热解法。但是这些方法工艺复杂，而且 射，溅射气压分别为 1Pa、0.8Pa 和 0.6Pa， 有的还需要使用剧毒的硫化氢气体，且有机 沉积温度为室温。溅射功率为 50W。制备沉 溶剂难以去除，阻碍了薄膜太阳能电池性价 积的薄膜样品以 400 ℃退火 120min。 [5,13] 比的提高。 对制备出的样品用 X 射线衍射仪 因此，提出新