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新材料与新工艺
Znl一xLio．5XNdo．5xW04低温烧结
微波陶瓷的制备及其性能研究
张明辉
(南京电子技术研究所、国防科技工业军用微组装研究应用中心，南京210039)
摘要： 采用传统的固相反应法制备了ZnhL‰。Nd¨。WO。陶瓷样品。通过X射线
衍射和微波测试技术对样品的相结构和微波介电性能进行了研究。对于Zn，一。Li。，，Nd。．h
Lio，l
ppm／。C。
关键词：Znl一。Lio．5，NdO．5xW04；微波性能；LTCC
ProductionandPerformanceof
Znl—xLi0．SxNd0．5xW04
LTCCMicrowaveCeramic
ZhangMing—hui
ResearchInstituteofElectronics
(Nanjing Technology，DefenseTechnology
Studiesand
Industry—AdvancedTechnology ApplyingCenter，Nanjing，210039，China)
ceramicismadetraditional reaction
Abstract：Znl．，Lio．5lNOo．5xW04sample by solid—phasemethod，and
the constructionandmicrowavedielectric with diffractionand
x—ray
sample’sphase performance眦analyzed
test isfoundthat hasa constructionof and
microwave
technology．It ZnI一，Lio．5lNa0．5，W04samplephase ZnW04
construction theincreaseofx
complicatedphase ofLio．5xNdo5；W04．With Value，sinteringtemperaturedrops
from1100。Cto the coefficientofresonant is Whenxis
850。C，and 0．2，
temperature frequencyoptimized．
850。Csintered has excellentmicrowavedielectric
Zno．8LiolNao．IW04quite
13700GHz，r，=一20．4ppm／℃。．
Key performance，LTCC
Words：Znl．。Lio5。Ndo．5。W04，mieowave
械、热力特性已成为未来电子元件集成化、
1 引言
模组化的首选方式，广泛用于基板、封装及
随着电子整机在
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