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单光子探测器及其校准技术研究 杨熙全，李琪，解琪，王芳 (国防科技工业光学一级计量站，陕西西安710065) 摘要：本文简要介绍单光子探测器的工作原理和主要类型，包括光电倍增管单光子探测 器、雪崩二极管单光子探测器、增强光电二极管(IPD)单光子探测器和超导临界单光子探 测器．介绍了单光子探测器校准技术，包括量子效率和线性度校准． 关键词：单光子：探测器；光电倍增管；雪崩二极管；校准 1引言 单光子探测技术在微弱光测量、高分辨率的光谱测量、非破坏性物质分析、高速现象 检测、高能物理、天文测光等领域有着广泛的应用。由于单光子探测技术在高新技术领域 的重要地位，它已经成为各发达国家光电子学界重点研究的课题之一，已经开发出了各种 类型的单光子探测器。本文简要介绍单光子探测器的原理和种类，介绍单光子探测器参数 校准。 2单光子探测技术 单光子探测是一种极微弱光探测法，它所探测光的光电流强度比光电探测器本身在 室温下的热噪声水平(10‘1‘W)还要低，用通常的直流检测方法不能把这种湮没在噪声中 的信号提取出来。 单光子探测过程为：入射的光子信号打到光电倍增器件上产生光电子，然后经过倍 增系统倍增产生电脉冲信号，称为单光子脉冲。计数电路对这些脉冲的计数率随脉冲幅 度大小的分布如图1所示。脉冲幅度较小的脉冲是探测器噪声，其中主要是热噪声，脉 冲幅度较大的是单光电子峰，V-为鉴别电平，用它来把高于V“的脉冲鉴别输出，以实现 单光子计数。 脉冲计数率 探测器噪声单光电子峰 脉冲幅度 l V-(甄别电平) 田1脉冲计数率瞳脉冲■度大小的分布 可用来作为单光子计数的光电器件有许多种，如光电倍增管(P盯)、雪崩光电二 极管(APD)、增强型光电二极管(IPD)和真空雪崩光电二极管(VAPD)等。 2．1光电倍增管单光子探测器 光电倍增管的工作原理如图2所示。当可见光的辐射光功率低于1．0×IO叫2-～1．0× 10。‘．-时，光电倍增管的光电阴极上产生的光电流不再是连续的．这样，在光电倍增管的输 出端就有离散的数字脉冲信号输出．当有一个光子信号打到光电阴极上时，就会产生一定 数量的光电子．这些光电子在电场的作用下，经过打拿极倍增，在输出端就有相应的电脉 冲输出．输出端电脉冲的数目与光子数成正比。对这些电脉冲进行计数也就能够相应地确 定光子的数目． -I 100．．900．700 ．500 -300-100 -1200．1000 ．800 -600-400．200 图2光电信增管工作原理 Ev：入射光：K：阴极：a：阳极：D：聚焦极：DI-DIO：倍增极：RL：负载：Vo：输出电压 2．2雪崩光电二极管(APD)单光子探测器 雪崩光电二极管的探测原理如图3所示。 电子 ， ●斗●叶●叶● 。誊一穴 ●O ●O ●o 、弋一 ●●o ．o漳运●●o●●o● ● ．．卜。 图3^PD雪崩探测原理 雪崩光电二极管具有内部增益和放大的作用，一个光子可以产生10--100对光生电子 空穴对，从而能够在器件内部产生很大的增益．雪崩光电二极管工作在反向偏压下，反向 偏压越高，耗尽层当中的电场强度也就越大．当耗尽层中的电场强度达到一定程度时(材 料不同，电场大小也不一样，如：Si-APD为lOSV／cm，耗尽层中的光生电子空穴对就会被 电场加速，而获得巨大的动