稀释离子液体SEM-EDX测定.pdfVIP

稀释离子液体SEM．EDX测定 (京大院工学研究科¨，京大防灾研究所”，京大能源科学研究科3’) JunKawai¨ o泽龙¨，SusmuImashuku¨，DaisukeMiki”，SusumuTohn03’and 1n’ - _ - · ● ’ ● ^● l ·‘ Elemental micro-SCaleol analystsin regmninsulating dilutedionic samplesusing liquid Univ．) (Kyoto JunKawail’ Imashukul)，DaisukeMiki孙，SusumuTohn03’and I∞ngZeD，Susumu 【序言】在一般情况下微小粒子的直径比较大的绝缘体样本没有经过导电处 理，在SEM测定时得不到鲜明的照片，所以测定前要用金属和炭素等导电处理。 我们用1叭．％的稀释离子液体在绝缘体样本上点滴几微升，得到5000倍率的鲜 明SEM的照片【1】。本次研究用几平方微米的火山灰样本，用EDX点分析。稀 释离子液体点滴在绝缘体样本上，在微小领域元素分析的可能性调查。 【实验】本次用的样本是在樱岛附近采取的火山灰，用乙醇稀释1叭．％的离子 升的离子液体点滴在火山灰样本上后SEM测定，用的扫描电镜(SEM，日本电 子，JSM．5610LVS)，加速电压设定在15 kV,电流85pA，真空度10。3Pa的条件 下测定。前述的扫描电镜连接当研究室自研的探测器(Ourstex，SDD system)附 加(EDX)分析装置。组成成分不同微粒子用反射电子测定，在微粒子点分析 时倍率100000倍，EDX测定畴同为100秒。 【结果和考查】在纳米大小的绝缘体不用导电处理也能SEM测定到鲜明的 照片。本次研究，调查直径多大时需要带电防止处理，微粒子直径10pro至701xm 为20pm以上的样本在1000倍时得到照片发白，前述是在相比之下得到了鲜明 示的微粒子直径1．OI|m的样本的倍率在5000倍时得到了鲜明的照片。以上结果 32 可以看出微粒子直径10，un以下的不需要防止带电处理。 looo培，∞0情 1没有导电处理的火山灰样本SEM照片。 Fig 比较可以看出经过稀释离子液体处理的样本比没处理的清楚很多。(a)和(c) 倍率1000倍的比较可以看出导电处理的得到了明显的照片，没有处理的发白。 33 1000倍n 5001)倍 带鼋防止船理柱L ：ⅢkEMCHCOG滴下 照片。 【3$8lj童§8l^磊ua兰 X-rayEnergy嗍 wt％稀释离子液体EMI-CH3COO火山灰样本的EDX分析结果 Fig．3点清1 图中(