用于LTCF工艺的低温烧结M型Ba铁氧体显微结构和特性研究.pdfVIP

显微结构与特性研究 李娅波，杨青惠，刘颖力，张怀武 (电子科技大学微固学院，四川成都610054) 摘 要：用机械球磨法结合Bf，01等助烧荆的添加研究制备了低温烧结M型钡铁氧体 (Zk乒012019)，结合相结构和显微形貌分析研究了戤q添加量对低温烧结钡铁氧体结构 与性能的影响。Bi203的加入可以明显降低铁氧体的烧结温度，同时采用上述工艺初步研 究了低温烧结的ZnTi和CoTi取代的M型钡铁氧体的性能。 关键词：M型钡铁氧体；低温烧结；LTCF。 1 引言 近年来随着军用电子整机、通讯类电子产品及消费类电子产品迅速向短、 小、轻、薄方向发展，LTCC(低温共烧陶瓷)技术的发展带动了各种片式化 无源电子器件以及无源集成基板模块飞速发展。然而基于LTCF(低温共烧铁 氧体)技术的器件目前仅限于片式电感、变压器等方面，片式化的微波铁氧体 器件如环行器／隔离器等由于低温烧结旋磁材料的制约，国内外仅有少量的报 道。由于M型钡铁氧体具有的高磁晶各向异性内场，一般用于毫米波铁氧体 器件。若降低其烧结温度到900℃，虽然材料密度与磁性能会受到影响，但是 利用其高各向异性内场有望实现通过LTCF技术研制片式化的自偏置微波旋 磁铁氧体器件，并有利于与其它器件实现无源集成。因此研究低温烧结M型 钡铁氧体是有重要意义的。 76 2实验 2．1样品的制备 实验方法采用氧化物陶瓷工艺：选用分析纯的BaC03、凡，q为原材料， 按化学配比将原料混和，采用如下工艺：称料——次球磨(6~8小时)——预 的片，然后在空气中烧结。 2．2样品的测试 Pro 采用XPertMPDX射线衍射分析仪测定材料的物相结构；JSM．35C扫 描电子显微镜观察样品的微观形貌，用VSM测试样品的磁化曲线。材料的磁 3结果与讨论 3．1结构与形貌 多晶烧结铁氧体的高频性能与材料的微结构密切相关，因此制备的磁粉晶 化完全、缺陷少、表面形貌好是获得高性能软磁铁氧体的必要条件。 范围内烧结，材料的晶相都是M型Ba铁氧体，无其它杂相，且温度越高特征 峰越尖锐，显然晶粒尺寸随着烧结温度的增加逐渐长大。低温(900。C)烧结 的Ba铁氧体含有少量的恐，仅，但M相已形成，且制备工艺中未引入其它杂 质。另相出现的原因可能是由于配方偏离正份。如：铁含量过多，多余的铁固 溶于主相中；烧结温度偏低，晶粒生长不均匀，离子扩散不充分，使晶格发生 畸变，从而引入另相。 10 20 30 40 50 60 70 80 90 (slu了oo葛!su磐uI 10 20 30 40 50 60 70 80 90 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 圈1 onn一¨nn。，1临嬉的na灶鲁41-VDn圈 图2 900～1100。C烧结的Ba铁氧体的SEM图 由图可知：钡铁氧体晶粒随着烧结温度的升高逐渐长大，同时材料致密度提高。 即温度的提高有利于晶粒的长大和发育完整。 本文添加的Bi203主要目的是起到降低烧结温度的作用：由于其自身熔点 低，易在烧结过程中形成液相，促进陶瓷颗粒之间的物质传输，促进烧结，从 而降低烧结温度，宽化烧结范围，并且在液相形成时，往往能吸收一些对材料 不利的杂质，从而起到改善晶体结构、提高材料性能的作用。 表1不同添加量对于Ba铁氧体性能的影响 Os 密度 Ms (emu／g) (g／cm3)