光学角规偏向角的测量方法及不确定度分析和应用的探讨.pdfVIP

，计 量 学 报 2006年9月 3．2各不确定度分量的估算 2 光学角规偏向角的测量方法 3．2．1 激光小角度干涉仪测量不确定度引起的不 确定度分量 偏向角是衡量光学角规精度的一个重要技术指 激光小角度干涉仪给出的角度测量的极限误差 标，掌握正确的的测量方法是保证光学角规精度的 为：△够=0．0348”。 首要前提。 单次测量结果是取测量两个位置数据的平均 依据国家计量检定规程JJG85(k-2005的规定， 值，而每个位置又是三次读数取平均值，故艿。= 不同等级的光学角规可采用与之相对应的方法进行 o．014Z。设激光小角度干涉仪测量不确定度分量 检定。一等、二等、三等光学角规均可使用激光小角 为均匀分布，取k1-√3，则标准测量不确定度为／Z， 度测量仪进行检定。二等光学角规的偏向角用自准 =0．008 20。估计其相对不确定度为10％，则自由 直仪和一等光学角规以比较法进行检定。三等光学 度v1=50。 角规的偏向角用自准直仪和二等光学角规也可用比 3．2．2光学角规前表面与入射光束的垂直度误差 较法进行检定。 引起的不确定度分量 理论计算和实验表明，当人射光束的垂直度5 3光学角规偏向角的测量不确定度分析 讨，对于偏向角为1啪光学角规引起的偏向角示值 误差艿：≤0．01”。设光学角规前表面与人射光束的 垂直度误差引起的不确定度分量为均匀分布，取k： 正确分析光学角规偏向角的测量不确定度对于 应用光学角规是非常重要的。下面以激光小角度测 =√3，因此，该项标准不确定度分量为：／Z：= 量仪检定一等光学角规偏向角为例，分析其测量不 0．00577，。估计其相对不确定度为20％，则自由度 确定度。 。2=12。 3．1数学模型 3．2．3光电自准直仪瞄准误差引起的不确定度分 根据对以激光小角度测量仪为主要标准仪器的 量 测量系统的输入量和输出量及主要影响量的分析， 光电自准直仪在10范围内，单次对准精度是± 该系统的测量数学模型可表示为： O．05”，显然这项也是属于极限误差，％=±0．05”。 Y=戈l+／I菇2，菇3，石4，戈5) 测量光学角规的偏向角需要两次瞄准，故艿，= 以上各项输出量和影响量对测量结果的影响可 0．070 7，。光电自准直仪瞄准误差引起的不确定度 一阶近似，且相互独立，故有 分量为均匀分布，k，=43，故该项标准不确定度分量 5 u：(y)=∑c：u2(戈i)