Zro-%2c2-厚膜湿敏元件.pdfVIP

$rC’99 Zro，厚膜湿敏元件 魏永广 孙承松 杨玉国 沈阳工业大学信息学院 (沈阳市110023) ● 摘要：本文介蜊了一种适合于岸膜工艺生产的陶瓷漫敏元件．讨论了工艺参数对元件漫敏特 性韵影响。实验结果表明该元件灵敏度较高，响应时间50秒，一致性和重复较好。 一．引言 住人类生存、农作物生长、工业生产中湿度同温度一样重要，这是因为过高的湿度会 ● 使粮食发霉、机器和仪表另忭生锈，失去原有功能。而过低的湿度又会使木材千裂、纸张 变脆、纤维断头，影响产晶质颦，带来不必要的损失，因此湿度的铡量和控翻越来越引起人 暂j∞啦视．“j丁．温度测量的攫度敏感元件很早以前就有所开发应用，但真正较大规模的开发 研究霸l庶埘是90年代的事。目前开发的湿敏元件较多．本文介绍的zr吨陶瓷湿敏元件适合 丁掉膜l：艺生产+这利下{：业化生产，重复性和一致性好，易丁_形成规模效益。 二．实验 实验中利脚市售分析纯zr如做原料．添加碱金属氧化物KzO做调阻材料，经研磨后加 有机轴台荆配％Ⅱ成浆料，利用厚膜L艺制成湿敏 元扑。元件结构如图一所示．基片利用95瓷， 金属f乜投也利用爆楼i：艺制作。实验中用了：调阻 的K∞添加量分别为l‰、 2‰、4‰厦子比t 饶结黼瞳分测为800℃、 900℃、 1000℃、 lOum，大下20“日两 1100。C，膜厚徽了小r 种。测试采川饱和l盐溶液做湿度源。电源为 豳一、元件结构 60Hz、5V。 二、结果与分折 I，碱套属添加荆纳影响 1：嗣碱金属含越制得的湿敏元件的电 阻值，o相对湿度的关系曲线如图三所示． 由|兰l。“池当碱金属含罐为1％o和2‰原子 比时，阻湿曲线的变化关系趋势基本相同， 毫 筹捌姓在1％含茸时，嗣有阻值较2‰含量 偏离。从理论E讲两者都可以，但考虑到 ．玖仪表的配制及应j{I，选用较低的好～ 些。㈣线③是对应碱金辐含量较高4‰时 的情况，在低湿段元忭的阻值较①、②两种 ■ ”况较，|、，且’一!线性。船商湿段曲线明显 r弯，这种情况由丁曲线的非线性，显然 10 50 100RIt 不利】-：次仪表的配制，也给使硝带来不 便。箕原因为昔碱金属含量较高时，在高 幽二、不同碱金属含颦元件的踞湿曲线 湿情况F碱金属离子的矮浚性．在电场作用下，产生漂移作刖。对电导有贡献，导致了高湿 段元{，{的阻澎柏线F弯。 2．烧站温度的影响 8000C烧结．实验结果表明，该温度对于 史验中对烧结温度做了大范围的实验，首先_}ij 州研磨方法制得的粉体偏低，膜烧结的不牢，强度不够，没有使用价值。这是由于用研磨方 法制得的粉体粒径较大，基本上大于5um，需要较高的烧结温度．其他三个温度烧结的样 ． 。 品的目l潍曲线如图三所示。由圈可见，lOOOOC和1lOOoC烧结的样品，阻