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* Jianping Ding 3-5-2 振幅分割法(Amplitude splitting)—薄膜干涉 1. 薄膜表面的反射和折射 n n’ a at ar n n’ a at’ ar’ 反射系数 透射系数 关系式： A 反射系数 透射系数 i i q 图示：薄膜表面的反射和折射 对透明薄膜，入射角不太大时，反射率 较小 2 3 4 1 1’ 2’ 3’ 4’ a ar at att’ atr’ atr’2 atr’t’ atr’2t’ atr’3 atr’3t’ atr’4 atr’4t’ n n’ n’ 1 1’ 2 3 4 5 4’ 3’ 2’ 透明薄膜反射光的干涉主要为 1 和 2 之间的双光束干涉 同理，透射光的干涉也可近似看作为双光束干涉 例如，透明玻璃 透明薄膜，入射角不大时，反射率很小 (m=2) I0=a2 2．薄膜干涉的规律----- a. 反射光的干涉 q i A B C n n’ n’ 半波损失 a ar att’r 两个反射光波之间的光程差（位相差） t D i 3-5-2 振幅分割法(Amplitude splitting)—薄膜干涉 干涉亮条纹： 干涉暗条纹： q i n n’ n’ a ar att’r t 干涉条纹的对比度： 双光束干涉 : q n a ar att’r t 薄膜反射干涉 ： 和 q n a ar att’r t 透明薄膜的反射率 R = r 2 很小 V ~ 1 例如 r2 = 0.04时 Ir d b. 透射光的干涉 q A B C n n’ n’ a attr’2 att’ t D 两透射光波之间的位相差： 无半波损失 干涉亮条纹： 暗条纹： q A B C n n’ n’ a attr’2 att’ t D It d 透明膜：反射率 R = r2很小， 很小 Ir d It d 透射光： 图示：透明薄膜的干涉强度分布 反射光： 暗背景 亮背景 对透明薄膜, 通常观察反射光中的干涉条纹 反射干涉 透射干涉 光程差决定于膜厚、倾角 n n’ n’ a attr’2 att’ t q i n n’ n’ a ar att’r t i q 反射光的干涉 透射光的干涉 3.等倾干涉(Interference of equal inclination)--- 膜厚 t 恒定 只决定于入射角，同一级干涉条纹由 相同入射角的光束干涉形成 i) 等倾条纹; ii) 定域于无穷远或透镜后焦面上 q n n’ n’ t * * * S 1 S 2 S 3 单 色 光 源 t n 等倾干涉 条纹 屏 薄膜 透镜 等倾干涉可用面光源照明 图示：点光源和面光源照明 面光源 等倾干涉容许面光源照明 4.等厚干涉(Interference of equal tihickness)--- 倾角q 恒定 等厚条纹; 定域于膜表面附近 图示：等厚条纹的形成 只决定于膜厚 同级干涉条纹由相同厚度处的两反射光束形成 等厚干涉可用面光源照明 一般情况下，光源到膜的距离远大于膜的大小和光源的大小，对于有限大小的面光源，膜上某点处来自光源上不同点的光线的光程差主要决定于该点的膜厚。 等厚干涉可用面光源照明 图示：等厚干涉图 肥皂膜的干涉 劈形膜(wedge film)的干涉条纹 图示：两平板玻璃间形成的劈形膜 平板玻璃 空气膜 n = 1 干涉亮条纹： x 平行于Y方向的平行条纹 y 条纹的疏密: 等间距的平行条纹 图示：两平板玻璃间劈形膜的干涉条纹图 图示：平板平整度的检测 条纹 ？ ？ 条纹 条纹 亮条纹位置： 图示：Newton 环的形成 等厚干涉条纹 --- 牛顿环(Newton’s rings) 图示：Newton 环实验的参数 空气膜很薄 r, t R, 正人射 cosq ~ 1 亮条纹： 暗条纹 中心处 r = 0 球面半径 和 测出Newton环半径即可确定球面半径 图示：利用Newton 环原理检测工件表面 薄膜干涉 光程差决定于膜厚、倾角 q n a ar att’r t n a attr’2 att’ t q 等倾 等厚 3-6 Michelson 干涉仪 3-6-1 构造和光路 振幅分割型双光束干涉仪； 许多现代干涉计量仪器的基础。 图示： 不同方位看到的Michelson 干涉仪装置