一种高准确度的孔径测量方法及其分析.pdfVIP

～种高准确度的孔径测量方法及分析 陈建功 (描州市计量所．福州 350003) 摘要本文舟t召甩_r字形片簧弹性支零摆动工作台和电感铡徽杖测量孔径，该方法可 达到二等符隹环规的捡定不确定度的要求， 关键词孔径铡量十字形片簧弹性支承摆动工作台 电感测馓仪 使用卧式光学计或测长机．采用相对法测量孔径，是准确度较高的方法，但是都要用万能工作 台分别找标准量(量块组台的内尺寸或标准环规)和被测孔径的被测尺寸线的示值转折点。根据卧 式光学计和测长机检定规程的“内测附件工作的可靠性”项目的规定，使用内测附件找转折点的示 被测孔径的找转折点过程来看，找转折点的示值之差及变动范围大的主要原因是由于在垂直面内 找转折点时医万能工作台倾摆角度不确定而引起的。 。，204。． 力丁提高iL径测量准确度，必须着力减小内测时找转折点(尤其是找垂直面内转折点)的示值 之差韧示值变动性，提商内测附件工作的可靠性。本文介绍采用十字形片簧弹性支承摆动工作旨 以下简称片簧台)的测量方法，在这方面取得很好的效果。 1 测量方法 如图断示，被测件7置于高度调整座3，被测截面调整至与片簧台的水平片簧等高，被测轮廓 约一侧与片簧台的垂直片簧相切。片簧台固于万能工作台上，圈中9为固定座c 调整万能工作台相对水平面倾摆成一微小倾斜，滑向固定测钩6(若是测长仪则固定其测量 圭毒，而声生一个作用二j，在找转折点和整个测量过程中，万能工作台不再做任何倾摆运动，以保证对 置定测钩的作用力稳定． 徽动测钩5的原测力拉簧被卸除，用测力重锤取代，以保证微动测钩对被测件7的作用力稳 定 调整万能工作台．片簧台与两测钩的萜对位置，使片簧台的十字片簧8交点与固定测钩触头重 台于图中的a点，微动测钧与被测件7可靠接触并有适当的微动示值范围。 拧转螺钉l，摆动壅：和被测件以a点为中心摆动．被测尺寸线很平稳地摆动至与测量线重台 丽得到垂直面内的最，h值．即找到在垂直面内的转折点。 拉被测尺寸线在个水平面内转折点，仍采用万能工作台转动(对量块组台的内尺寸)或横向前 看移动(对孔径)的方i： 代丁光学计管：在测茧。时．标准量转折点的示值调为o．被测孔径转折点的示值为d，则被测孔径d 的测量结果为=d=d(_一d，式中d0为标准量的值。 本测量方法准确度高的主要原理是： l、以片簧台取代万能工作台倾摆机构找垂直面内转折点的作用，克眠了由于万能工作台倾摆 角度在整个测量过程中不确定和由此产生的工作台上、下台面相对滑动作用力不确定所造成的测 量过程测力不稳定，从而大大减小了对内测附件工作可靠性的影DP。 2、找垂直面内转折点时，被测件7绕a点转动．相对固定测钩触头无滑动摩擦，仅相对微动测 镑5融头有滑动摩擦，币徽动测头的测力由重锤产生是很稳定的，由此产生的微动测头与被测件之 闻的肇擦力也很稳定，压此也减小了对内测附件工作可靠性的影响。 3、找垂直面内转折点时，由于转动中心a点在测量线上，所以被测尺寸线绕a点摆动到与测量 线重台的过程中，示值变化很平稳，最小值易于找到并且重复性很好。 2误差分析 ．。205．． 本测量方法的误莲分析(以二等量块组台内尺寸为标准量测量晒0标准环规为例)见表l 裹1 对测量结果 序号 误差分量来源 黧 计算依据 影响次数 2 量块研台走尺寸的 重复测量10次，s o-∞，7 5‘ u，；o．16。