化学气相沉积制备纳米材料实验.pdfVIP

化学气相沉积制备纳米材料实验 一、实验概述 从尺寸大小来说，通常产生物理化学性质显著变化的细小微粒的尺寸在 0.1 微米以下（注 1 米＝1000 毫米，1 毫米＝1000 微米，1 微米＝1000 纳米， 1 纳米＝10 埃），即 100 纳米以下。纳米级结构材料简称为纳米材料(nano material) ，是指其结构单元的尺寸介于 1 纳米～100 纳米范围之间。由于它 的尺寸已经接近电子的相干长度，它的性质因为强相干所带来的自组织使 得性质发生很大变化。并且，其尺度 已接近光的波长，加上其具有大表面 的特殊效应，因此其所表现的特性，例如熔点、磁性、光学、导热、导电 特性等等，往往不同于该物质在整体状态时所表现的性质。纳米科技是现 代科学和先进技术结合的产物，它不仅可为人类提供新颖的装置，而且在 物理学、化学、生物学、材料学、矿物学等领域中有广阔的发展前景对基 础科学、应用科学研究来说都有重要意义。 纳米材料的种类众多，结构各异，制备方法也多种多样。其中化学气相沉积 法是一种非常重要的制备方法。化学气相沉积的英文词原意是化学蒸汽沉积 （Chemical Vapor Deposition,CVD）,乃是通过化学反应的方式，利用加热、等 离子激励或光辐射等各种能源，在反应器内使气态或蒸