LSAW方法探测low-k介质膜硬度特性实验中的信号处理.pdfVIP

2005年11月 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 珠海 公式中，dl、d2分别为两探测点到超声表面波激发源的距离，①。(，)、西：(，)为相应 处探测到的信号序列的相频曲线，v(f)为实验的色散曲线[6]。故实验数据处理的目标是 要从探测到的信号序列中获取信号的相频曲线，从而按公式(2)计算出实验的色散曲线。 O．02 0．00 ∞ 口 量一0．02 厶 昌 一 fI 高0．02 岛 曲 ∽ 0 删4嘲‰i池嘛JI》 I：!：!：赫：；：誉邀0：※ 9 2．2 群{|}·竺鬯i1}}}}Po|}lsi|lflti80《nI些d2J!㈨《 y k x subs打ate Time(txs) 图1在分层结构中传播的超声表面波 图2实验探测的表面波压电转换信号 示意图。 (d2一dl=5mm) 本研究示例实验中的low-k介质薄膜是厚度为300nm，密度为1．09／cm3的多孔SiO。， 超声表面波沿着单晶硅的[1 103晶向传播。图2为实验采得的原始信号。在实验过程中， 由供电设备和输电线等导致的工频干扰使得信号的低频段不能满足分析的要求；而电磁波 干扰等使得过高频段的信息湮没在噪声之中。虽然在实验过程中采取了接地、电磁屏蔽等措 施，仍未能得到理想的信号。因此，有必要在傅里叶变换之前对采集的信号进行滤波。这里， 我们采用Matlab对信号进行软件滤波。由于实验主要关注的是信号的相频特性，滤波器的 设计选用能够保证精确、严格的线性相位特性的FIR滤波器。因为计算机处理的序列总是有 限的，这就相当于默认地加载了一个简单矩形窗来将无限序列截断成一个有限序列。这种截 断导致滤波器响应的通带中的纹波不能消除为零，阻带不能衰减到零，有非零的纹波值，在 阻带与通带边缘这种波动尤为严重，同时，通带与阻带间出现非陡直下降的过渡带，这就是 “吉布斯”效应。为了降低“吉布斯”效应的影响，我们加载了性能最优的Kaiser窗序列 (在相同的阻带衰减的情况下，Kaiser窗有最窄的过渡带)来代替默认的矩形窗。 用Matlab设计Kaiser窗的时候，需要确定两个参数：∥一控制旁瓣的高度、n一滤波 器的阶数，可分别由经验公式(3)、(4)计算得到[7]。其中一otdB为旁瓣高度。 f-O．1102(a一8．7) 口50 { 50≥口≥21 (3) ∥=Lo．5482(a一21)o’4+O．07886(of|一21) 0 口21 对于过渡带为△彩rad／s，