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‘国际物理教育通讯》 NTPE专辑 物理课中应含有微米纳米技术的内容 刘之景 (中嗣科学拄术大学基础物理中心，台腮230026) 摘簧：本文指出在物理课中介绍一些现代科学仪器的重要意义，同时介绍了当前纳米科学领域书的重要 的仪器s饿、洲和stc3t{的工作原取结构和应用。 关键谪：扫描隧道显微镜，隧道效应，扫描近场光学显徽镜 一、引言 信息时代科学技术的发展日新月异，许多现0捌学仪器不断涌现，并迅速进入商业市场和 科技领域与工业部门。纳米技术是一门在纳米空间尺度(0．卜一loom)内研究电子、原予和分 子运动规律和特性的学科，它将成为2l世纪的关键技术和各国高新技术竞争的焦点之一。当 前研究纳米科技的有效的现代科学仪器有扫描隧道显微镜(繇啪，扫描探针显微镜(sP帅，扫描 近场光学显微镜(sNoM)等。它们既是精密的高分辨率(原子量级)探测仪器，又是有效的加工工 具。已被广泛应用于物理、化学、生物、材料、微电子、表面、薄膜、微机械、单原子操作等 领域。因此在物理课中结合教材介绍一下这些仪器的原理、结构和应用是很有!崾的，因为这 样有利于提高学生的学习兴趣，拓宽知识，增强学生韵刨造性和分析问题的能力。总之，有利 于培养21世纪商素质人材。国内已经有一些大学为学生开设了sTM和核磁共振实验课，有的 开了表演实验课。使学生尽早熟悉这些仪器的原理和使用方法，了解它们在现代科技领域中的 应用，尽早接触到当代科技的前沿发展。为此，本文简要介绍STM、SPM、sNoM三种扫描隧道 显微镜的原理、结构和应用。 二、扫描㈣(Scanning Tunneling Microscope一∞D STM是I嘲公司苏黎士研究所宾尼格(Terd·Binning)和罗勒(geiuricbRohrer)于1981 年发明的并于1986年荣获诺贝尔物理学奖。、 STM可以实日寸涮量物体表面实空问三维图象，对平行和垂壹表面方向的分辨率分别达到0．inm 和o．o】耻，实现丁对表面单个原子的观察和操作。例如美国科学家爱格勒(D．扼Eigler)使用研M 物理课中应含有微米纳米技术的内容 在镍表面上将35个氙原子排成了世界最小的商徽“I脚，，，每个字母只有5纳米长。科学家用 它看到了硅表面原子复杂排列，看到了苯环，也看到了脱氧核糖核酸(硎A)分子双螺旋结构。 它被应用于物理、化学、生物、微电子等领域。 STM的基本结构和工作原理非常简单(图1)。基本结构就是一根导电的尖锐探针，其位置 商度可控，尖端往往只有几个原子。所以在几伏特偏压下，针尖附近的电场强度可以达到 几到几十纳米的微小导电区域(称为势阱)中，电子有可能产生量子效应，若干纳米导电区域之 阀形成薄薄的势垒区。由于电子的波动性，电子可以从某势阱穿越势垒进入另—势阱，这就是 量子隧道效应。当针尖到样品之间距离缩小到一纳米以下时，如果加上～定的偏压，尽管针尖 与样品并来接触，电子也会由于量子隧道效应穿越一埃的纳米势垒，从样品进入针尖或从针尖 离变化0．1纳米，隧道电流就要改变一个数量级，这就是STM具有越超分辨本领的根本原因。 这—隧穿电流可用来对表面进行成像，因为当偏压不变时，针尖离表面越远，隧道电流就越小。 当针尖在样品表面来回扫描时可通过隧道电流感知到样品表面的起伏。产生隧道电流的先决条 件是：针尖与样品必须是导体或半导体，sTM不能对绝缘体成像。 sTM结构小巧、操作方便，人们可以在真空或者大气或者液体中对样品进行原子级分辨率 的无损观测。确定物质表面原子或分子几何分布和态密度分布以及物体局域光、电、磁、热与 机械特性。它可以移动单个原子，构筑各种形状的结构，也可以作表面原子级修饰，把指定的 原子从表面拔掉，然后再用原子填平。STM以高分辨率看见表面局部结幸句和单个表面缺陷，从 而引起表面科学的巨大变化。STM还能利用单个氤原子制造原子开关。 三、扫描探针显微镜(s咖 等。STM是最早被发明和应用的，在sTM的基础上，人们又发展起原子力显微镜，近场光学显 微镜和其它种类显微镜。现在扫描探针显微镜已发展成为集光学、电子学、压电学、磁学、摩 擦学、精密机械、光电技术、图像信息的采集、存储、处理、显示以及计算机控制等研究成果 于一身的