蘸水笔刻蚀技术（DPN）影响因素分析.pdfVIP

维普资讯 寿莎 蘸水笔刻蚀技术(DPN)影响因素分析 蘸水笔刻蚀技术 (DPN)影响因素分析 寿莎 (浙江师范大学初阳学院，浙江 金华 321019) 【摘 要] 蘸水笔技术(Dip—Pen)是近年来发展起来的一种新的扫描探针刻蚀加工技术，有着广泛的应用前景。该技术是直 接把弯曲形水层作为媒介来转移 “墨汁”分子，在样品表面形成纳米结构。尖端曲率半径、针尖在基底表面滞留时间、针尖扫描速 度、空气湿度、表面粗糙度等均会影响纳米结构的线宽。针尖在基底表面滞留时间与圆半径的平方成一次函数关系，线宽随着尖端 半径的增大而变宽，扫描速度与线宽成反比关系。通过控制湿度可以控制 “墨水”分子的转移速度，从而影响纳米结构的线宽。线 宽随着样品表面粗糙度增加而变宽。 【关键词] 蘸水笔；原子力显微镜；纳米结构；刻蚀 [中图分类号]TH742、9；TG176