单晶硅电火花铣削电极损耗研究.pdfVIP

设计 ·研 究 《电加工与模具)2010年第6期 单晶硅 电火花铣削电极损耗研究 鲁 清，刘志东，邱明波，田宗军，黄因慧 (南京航空航天大学机电学院，江苏南京 210016) 摘要 ：提 出了一种以电火花加工技术对半导体硅材料进行铣 削加工的方法，分别进行 了单晶硅 和45钢 的 电火花铣 削加工 ，发现铣 削单 晶硅 的 电极体积相对损耗仅 为0．41％，而45钢达 到 9．22％。针对此现象，从蚀除机理、放电间隙以及放 电电流的爬坡特性方面对单晶硅放电加工特性 进行 了研究，并解释 了其电极损耗低的原 因。最后研 究了不同加工规准下，单晶硅电火花铣 削加工 电极相对损耗的工艺规律 。 关键字 ：单晶硅；电火花铣削 ；电极损耗；放电特性 中图分类号 ：TG661 文献标识码 ：A 文章编号 ：1009—279X(2010)06—0013—04 ResearchforElectrodeW earofMonocrystallineSilic