微细超声加工中恒力控制问题的研究.pdfVIP

设 计 ·研 究 《电加工与模具》2012年第3期 微细超声加工 中恒力控制问题的研究 秦少明，马春狮 ，王 聪，余祖元 ，李剑 中 (大连理工大学机械工程学院，辽宁大连 116024) 摘要 ：为提高微细超声波加工系统的稳定性和加工性能，对微细超声加工中微小加工力的恒定 控制方法进行了深入研究。最终采用积分分离PID控制算法，实现了微小加工力的恒定控制。加 工实验结果证明，该控制算法较好地解决了微细超声加工中加工力波动大且难以控制的问题 。 关键词 ：微细超声加工 ；恒力控制 ；积分分离 PID 中图分类号 ：TG663 文献标识码 ：A 文章编号 ：1009—279X(2012)03—0041—04 Research ofConstantForceControlin M icro—UltrasonicM achining QinShaoming，MaChunshi，WangCong，YuZuyuan，LiJianzhong