微细孔、阵列孔及微细三维型腔的超声加工研究.pdfVIP

设计 ·研 究 《电加工与模具》2011年第 1期 微细孑L、阵列孔及微细三维型腔 的超声加工研究 安成明，殷国强，李剑中，余祖元 (大连理工大学机械工程学院，辽宁大连 116024) 摘要 ：利用 自行开发的微细电火花与微细超声复合加工装置 ，对微孔超声加工中效率随孔深 的变化 、磨料颗粒尺寸对精度的影响等进行 了实验研 究，并采用恒加工力控制方式，在单晶硅 100 晶面实际完成 了直径 18 m 圆孔和 28 m×28 m 方孔 的超声加工、微细十字孔与阵列孔的超声 反拷加工以及微细三维型腔的工具均匀损耗补偿分层铣削超声加工。 关键词 ：微细超声加工 ；微细阵列孔 ；微细三维型腔 中图分类号 ：TG661，TG663 文献标识码：A 文章编号：1009—279X(2011)Ol 0023—05 StudyofM icroHole，HoleArrayand3D M icroCavityM achinedByUSM