利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极.pdfVIP

《电加工与模具》2011年第5期 设计 ·研 究 利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极 伊福廷 ，李 勇 ，刘改红。 (1．中国科学院高能物理研究所，北京 100049； 2．清华大学精密仪器与机械学系 ，北京 100084) 摘要 ：利用LIGA技术的优势，针对电火花 电极结构特点开发 出相应的加工工艺，完成电火花 复杂结构 电极的制造。电火花 电极的特点是大高宽比的金属柱状结构，这对 于LIGA技术工艺具 有特殊的难度 ，需要 突破深孔显影和 电铸工艺难题。通过大量的工艺试验 ，优化 出电火花电极阵列 结构的工艺路线，圆满完成 阵列结构和异形复杂结构的电极制造 ，为电火花技术在新领域的应用提 供 了技术支持 。 关键词：电火花电极 ；异形阵列电极 ；大高宽比金属结构 ；LIGA技术 中图分类号：TH164 文献标识码：A 文章编号 ：1009—279X(2011)05—0014—04 TileFa