固态薄膜锂离子电池材料的研究.pdf

9651 Y 89 分类号 密级 UDC 编号 北京有色金属研究总院 博士后研究工作报告 固态薄膜锂离子电池材料的研究 邢光建 工作完成日期 2003年7、月一2005年12月 报告提交日期 2005年12月 北京有色金属研究总院 2005年12月 摘要 摘要’ 微电动机械系统(MEMS)、高速大容量计算机芯片、植入式医疗器件以及智 能卡等的发展，要求可集成、高能量密度、可充电的新型能量载体。相比较于传 统的电池，薄膜锂离子电池在能量密度上更具有优势，而且没有液态电解液的污 染，因而近年来受到许多国家的重视。 利用磁控溅射方法在硅片及不锈钢片上沉积了LiC002薄膜，研究了溅射功 率、退火温度等工艺条件对LiC002薄膜结构、成分及充放电性能的影响，结果 表明随着溅射功率的增加使得LiC002薄膜晶化程度加大，放电过程的容量达到 了31．09Atl／cm2岬，并且在循环50个周期后容量衰减很小，显示了良好的循环 性能。对沉积的LiC002薄膜进行了不同温度的退火处理，随着退火温度的增加， 薄膜的衍射峰逐步增强并且峰宽细化，退火至700℃后，薄膜的结晶性能得到改 善，具有完整的LiC002相。未经退火的薄膜放电容量较小，并且没有出现放电 平台，随着退火温度的增加，放电容量逐步增大。经700。C退火后LiC002薄膜 的容量达到一个较好的数值，471xAh／cm21．tm。 针对电解质薄膜，分别开展了LiSiPON、LiPON电解质薄膜的制备及性能研 究，分别用XRD、SEM、XPS及交流阻抗测试等手段对电解质薄膜的结构、成 分及电化学性能进行了分析。通过磁控溅射方法在不同的工作气氛中制备了不同 组分的LiPO及LiPON电解质薄膜，不同的工作气体对薄膜的组分及离子电导率 有极大的影响。在纯Ar条件下，薄膜中的O含量小于其块体材料，离子电导率 小，在02+舡混合气体条件下，薄膜中的O含量增加，其离子电导率比纯Ar 条件下的有所增大，并且随着薄膜中O含量的增加离子电导率增大。利用N2取 代02，薄膜中进入N元素，使得薄膜的离子电导率再次增加，在纯N2条件下， 10。Scm～。 薄膜的N含量达到最大值，其离子电导率也达到最大值10．43X 电解质LiSiPON薄膜。N的引入提高了旧有体系的离子电导率，随着工作气压 的增加，电解质薄膜中的N含量和离子电导率同步的增加，在溅射功率130W、 Pt的分解压检测结果显示，LiSiPON薄膜有非常好的电化学稳定窗口，接近6V 左右，可以稳定持久的工作于薄膜锂电池中。 利用反应磁控溅射的方法通过控制不同的氧分压得到了不同氧含量的SnOx 负极薄膜，对其进行了XRD、SEM、XPS等表征，并对不同氧含量的SnOx薄 膜进行了电化学性能测试。结果表明在氧分压较低的情况下得到的SnOx薄膜具 有较多的金属sn成分，随着氧分压的逐步增加，SnOx化学计量接近于标准的 Sn02。氧含量对SnOx薄膜的充放电性能和循环性能影响极大，Sn01 08薄膜具有 较高的首次放电容量，但是其衰减迅速：相对于其他成分，SnOl56薄膜具有最 了较好的综合性能。 关键词：固态薄膜电池，LiC002薄膜，LiSiPON电解质薄膜，LiPON电解质薄 膜，SnOx薄膜，充放电性能，循环性能 ——一!!!竺!